[实用新型]一种花篮端板与导液槽的一体式结构有效
| 申请号： | 202022907644.2 | 申请日： | 2020-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN214099603U | 公开（公告）日： | 2021-08-31 |
| 发明（设计）人： | 孟岭 | 申请（专利权）人： | 无锡市世通模塑有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L21/677 |
| 代理公司： | 连云港联创专利代理事务所(特殊普通合伙) 32330 | 代理人： | 谷金颖 |
| 地址： | 214000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 花篮 导液槽 体式 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种花篮端板与导液槽的一体式结构，包括硅片花篮主体(5)，其特征在于：所述硅片花篮主体(5)由端板(1)与硅片花篮芯杆(4)组成，且该端板(1)的内壁开设有与硅片花篮芯杆(4)端部相适配的安装孔(2)，所述安装孔(2)的下方安装有导液槽(3)。
2.根据权利要求1所述的一种花篮端板与导液槽的一体式结构，其特征在于：所述硅片花篮芯杆(4)共安装有两个。
3.根据权利要求1所述的一种花篮端板与导液槽的一体式结构，其特征在于：所述安装孔(2)共设置有六个，其中三个安装孔(2)开设于一个端板(1)表面上，另外三个安装孔(2)开设于另一个端板(1)表面上。
4.根据权利要求1所述的一种花篮端板与导液槽的一体式结构，其特征在于：所述端板(1)共安装有两个，且两个端板(1)分别设置于硅片花篮芯杆(4)的两端。
5.根据权利要求1所述的一种花篮端板与导液槽的一体式结构，其特征在于：所述硅片花篮主体(5)的底部两侧设计为镂空。
6.根据权利要求1所述的一种花篮端板与导液槽的一体式结构，其特征在于：所述硅片花篮芯杆(4)的横截面为圆形，且其为圆柱体结构。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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