[实用新型]一种改善DFB激光器金属覆盖的装置

说明书

本实用新型提供一种改善DFB激光器金属覆盖的装置,所述装置包括可放置于镀膜机内的载片台，所述载片台上设有盖板，所述载片台与所述盖板可拆卸式紧固连接；所述载片台的中部开设有用于放置镀膜片子的放片槽，所述放片槽的深度低于所述镀膜片子的厚度并呈一定角度倾斜设置；所述放片槽的下端开设有用于镀膜的镀膜孔。本申请通过将镀膜片子呈一定倾斜角度放置，解决水平及垂直方向镀膜过程中，因膜料堆积速率及方向影响，而出现的缝隙问题。

技术领域

本实用新型涉及金属镀膜技术领域，特别涉及一种改善DFB激光器金属覆盖的装置。

背景技术

光通信网络采用光作为信号传输的载体，相比于采用铜缆作为传输介质的电通信网络，信息互联的速度、容量和抗干扰能力得到显着提高，因而得到广泛应用。半导体激光器是光通信网络的主要光源，近期云计算、视频传输、物联网、5G需求的出现及快速商业化，市场对半导体激光器的需求急剧增加。半导体激光器的制备，代表了先进微纳加工和器件集成工艺的发展方向。目前光通信用半导体激光器主要应用INP衬底片进行外延生长及后端加工，在后端加工中金属镀膜工艺是保证激光器参数的关键工序。

边发射激光器的光从两个端面出射，为了提高电流注入密度，往往采用脊波导的芯片结构。然而，脊波导处做金属接触，镀膜时脊波导表面和侧面台阶覆盖较差使用电子束蒸发设备镀膜时，金属台阶覆盖不好；有人采用磁控溅射设备镀膜，可以实现较好的台阶覆盖，但成本高。

金属镀膜设备应用最广泛且成本最低的为电子束蒸镀设备，但金属覆盖不良是其主要的缺点之一，目前主要的解决方案是使用行星式转盘来达到改善台阶覆盖的目的，但是效果不是很理想。

目前使用的方法是行星式转盘，即公转自转一起，可以改善台阶覆盖，但是台阶顶部拐角区域，由于水平垂直方向镀膜过程膜料堆积速率及方向影响，会出现一条缝隙，如图1。

所以，针对现有技术存在的不足，有必要设计一种改善DFB激光器金属覆盖的装置，以解决上述问题。

实用新型内容

为克服上述现有技术中的不足，本实用新型目的在于提供一种改善DFB激光器金属覆盖的装置。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供的技术方案是：一种改善DFB激光器金属覆盖的装置，所述装置包括可放置于镀膜机内的载片台，所述载片台上设有盖板，所述载片台与所述盖板可拆卸式紧固连接；所述载片台的中部开设有用于放置镀膜片子的放片槽，所述放片槽的深度低于所述镀膜片子的厚度并呈一定角度倾斜设置；所述放片槽的下端开设有用于镀膜的镀膜孔。

优选的技术方案为：所述盖板的形状与所述载片台的形状对应。

优选的技术方案为：所述放片槽的外侧设有若干第一螺纹孔，所述盖板上设有和所述第一螺纹孔对应的第二螺纹孔，上下对应的第一螺纹孔与第二螺纹孔内设有可拆卸的螺栓。

优选的技术方案为：所述载片台与所述盖板均由不锈钢制成。

优选的技术方案为：所述放片槽的深度与所述镀膜片子的厚度差为50μm。

优选的技术方案为：所述盖板的厚度为2mm。

由于上述技术方案运用，本实用新型具有的有益效果为：

本申请通过将镀膜片子呈一定倾斜角度放置，解决水平及垂直方向镀膜过程中，因膜料堆积速率及方向影响，而出现的缝隙问题。

附图说明

图1为背景技术示意图。

图2为本实用新型载片台俯视图。

图3为本实用新型载片台剖视图。

图4为本实用新型盖板俯视图。

图5为本实用新型剖视图。