[实用新型]一种单晶炉的热场及单晶炉有效
| 申请号: | 202022838869.7 | 申请日: | 2020-11-30 |
| 公开(公告)号: | CN213739780U | 公开(公告)日: | 2021-07-20 |
| 发明(设计)人: | 陈林军;李小兴;涂鑫鑫;陈昌林;汪奇 | 申请(专利权)人: | 四川晶科能源有限公司;晶科能源有限公司 |
| 主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B35/00 |
| 代理公司: | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人: | 周放 |
| 地址: | 614800 四川省*** | 国省代码: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 单晶炉 | ||
1.一种单晶炉的热场,其特征在于,所述单晶炉的热场包括:
主体部(1),所述主体部(1)包括第一主体部(11)和第二主体部(12),所述第一主体部(11)为硬毡层,所述第二主体部(12)为软毡层;
电极(2),所述电极(2)安装于所述主体部(1);
保护层(3),且所述保护层(3)包括第一保护层(31)和第二保护层(32),所述保护层(3)套设于所述电极(2);
所述第一保护层和所述第二保护层中的一者,为隔离层,另一者用于支撑隔离层。
2.根据权利要求1所述的单晶炉的热场,其特征在于,所述第一保护层(31)和所述第二保护层(32)中至少一者为绝缘材料。
3.根据权利要求2所述的单晶炉的热场,其特征在于,所述绝缘材料为石英。
4.根据权利要求1所述的单晶炉的热场,其特征在于,所述第一保护层(31)位于所述第二保护层(32)朝向所述电极(2)的一侧,且所述第一保护层(31)的材料为石英。
5.根据权利要求4所述的单晶炉的热场,其特征在于,所述第二保护层(32)为固化毡。
6.根据权利要求1所述的单晶炉的热场,其特征在于,沿所述单晶炉的热场的厚度方向,所述第一主体部(11)位于所述第二主体部(12)的上方。
7.根据权利要求1所述的单晶炉的热场,其特征在于,所述主体部(1)具有通孔,所述电极(2)安装于所述通孔,所述保护层(3)位于所述电极(2)与所述主体部(1)之间。
8.根据权利要求7所述的单晶炉的热场,其特征在于,所述主体部(1)包括多个所述电极(2),各所述电极(2)分别套设有所述保护层(3)。
9.根据权利要求1至8中任一项所述的单晶炉的热场,其特征在于,所述软毡层为碳毡,所述硬毡层由多个所述软毡层挤压成型。
10.一种单晶炉,其特征在于,所述单晶炉包括如权利要求1至9中任一项所述的单晶炉的热场。
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