[实用新型]一种单晶炉的热场及单晶炉有效

专利信息
申请号: 202022838869.7 申请日: 2020-11-30
公开(公告)号: CN213739780U 公开(公告)日: 2021-07-20
发明(设计)人: 陈林军;李小兴;涂鑫鑫;陈昌林;汪奇 申请(专利权)人: 四川晶科能源有限公司;晶科能源有限公司
主分类号: C30B29/06 分类号: C30B29/06;C30B35/00
代理公司: 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 代理人: 周放
地址: 614800 四川省*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 单晶炉
【权利要求书】:

1.一种单晶炉的热场,其特征在于,所述单晶炉的热场包括:

主体部(1),所述主体部(1)包括第一主体部(11)和第二主体部(12),所述第一主体部(11)为硬毡层,所述第二主体部(12)为软毡层;

电极(2),所述电极(2)安装于所述主体部(1);

保护层(3),且所述保护层(3)包括第一保护层(31)和第二保护层(32),所述保护层(3)套设于所述电极(2);

所述第一保护层和所述第二保护层中的一者,为隔离层,另一者用于支撑隔离层。

2.根据权利要求1所述的单晶炉的热场,其特征在于,所述第一保护层(31)和所述第二保护层(32)中至少一者为绝缘材料。

3.根据权利要求2所述的单晶炉的热场,其特征在于,所述绝缘材料为石英。

4.根据权利要求1所述的单晶炉的热场,其特征在于,所述第一保护层(31)位于所述第二保护层(32)朝向所述电极(2)的一侧,且所述第一保护层(31)的材料为石英。

5.根据权利要求4所述的单晶炉的热场,其特征在于,所述第二保护层(32)为固化毡。

6.根据权利要求1所述的单晶炉的热场,其特征在于,沿所述单晶炉的热场的厚度方向,所述第一主体部(11)位于所述第二主体部(12)的上方。

7.根据权利要求1所述的单晶炉的热场,其特征在于,所述主体部(1)具有通孔,所述电极(2)安装于所述通孔,所述保护层(3)位于所述电极(2)与所述主体部(1)之间。

8.根据权利要求7所述的单晶炉的热场,其特征在于,所述主体部(1)包括多个所述电极(2),各所述电极(2)分别套设有所述保护层(3)。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的单晶炉的热场,其特征在于,所述软毡层为碳毡,所述硬毡层由多个所述软毡层挤压成型。

10.一种单晶炉,其特征在于,所述单晶炉包括如权利要求1至9中任一项所述的单晶炉的热场。

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