[实用新型]一种具有清洗装置的硅片加工设备

说明书

本实用新型涉及硅片加工技术领域，且公开了一种具有清洗装置的硅片加工设备，包括壳体，所述壳体的内部活动连接有推板，所述推板的顶部固定连接有放置块，所述放置块的顶部开设有容纳槽，所述容纳槽的内部设有硅片本体，所述壳体后侧的内壁活动连接有移动板，所述移动板的正面固定连接有安装块，所述安装块的底部固定安装有清洁垫。该具有清洗装置的硅片加工设备，通过盒体底部的五个输水管分别与五个安装块的顶部插接，使盒体内的洗涤液流入五个安装块内并最终流至各清洁垫的底端，通过移动板水平移动，使五个清洁垫同时对放置块内的五个硅片本体的表面进行刮洗，且各硅片清洗情况相同，从而便于各硅片清洗干净。

技术领域

本实用新型涉及硅片加工技术领域，具体为一种具有清洗装置的硅片加工设备。

背景技术

硅片加工成形指的是将硅棒制成硅晶片的工艺过程，主要过程包括切片、结晶定位、晶边圆磨、化学刻蚀、缺陷聚集及各步骤之间所需的清洗过程。现有的硅片加工设备上大多没有清洗装置，在加工时需要对各加工步骤进行转移清洗，由于各硅片的清洗不是同步进行的，且各硅片的清洗情况不同，使得各硅片清洗后的效果有所差异，导致部分硅片未被清洗干净，影响后续硅片的加工。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种具有清洗装置的硅片加工设备，具备同步清洗、防刮痕和密封性良好等优点，解决了目前多个硅片清洗不同步，且各硅片的清洗情况不同，使得各硅片清洗后效果有所差异，导致部分硅片未被清洗杆径，影响后续硅片加工的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种具有清洗装置的硅片加工设备，包括壳体，所述壳体的内部活动连接有推板，所述推板的顶部固定连接有放置块，所述放置块的顶部开设有容纳槽，所述容纳槽的内部设有硅片本体，所述壳体后侧的内壁活动连接有移动板，所述移动板的正面固定连接有安装块，所述安装块的底部固定安装有清洁垫，所述安装块顶部的左右两侧均固定连接有竖板，两个所述竖板相对的一侧活动连接有下压板，所述下压板的顶部固定连接有第一弹簧，所述第一弹簧的顶端固定连接有盒体，所述盒体的内部设有洗涤液，所述盒体的底部固定连接有输水管，所述输水管的底端与安装块的顶部活动插接，所述盒体的左侧固定连接有连接杆，所述连接杆的左端与壳体左侧的内壁活动插接。

优选的，所述壳体后侧的内壁固定连接有固定块，所述移动板的背面开设有U形槽，所述固定块与U形槽的内部滑动连接。

优选的，两个所述竖板相对的一侧均开设有滑槽，所述下压板的左右两侧分别与两个滑槽的内部滑动连接。

优选的，两个所述竖板相对一侧的底部均固定连接有第二弹簧，两个所述第二弹簧的另一端均固定连接有密封板，两个所述密封板的底部分别与安装块顶部的左右两侧滑动连接。

优选的，两个所述密封板背面的相对一侧均转动连接有安装架，两个所述安装架的顶端均与下压板的背面转动连接。

优选的，所述连接杆顶部的左侧固定连接有连接块，所述壳体左侧的顶部开设有通槽，所述连接块与通槽的内部活动连接。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种具有清洗装置的硅片加工设备，具备以下有益效果：

1、该具有清洗装置的硅片加工设备，通过设置下压板、第一弹簧和输水管，向下移动连接杆，使盒体向下移动，使第一弹簧被压缩，使下压板的左右两侧分别移动至与两个滑槽的内底壁接触，通过盒体底部的五个输水管分别与五个安装块的顶部插接，使盒体内的洗涤液流入五个安装块内并最终流至清洁垫的底端，通过移动板水平移动，使五个清洁垫同时对放置块内的五个硅片本体的表面进行刮洗，且各硅片清洗情况相同，从而便于各硅片清洗干净。