[实用新型]一种具有清洗装置的硅片加工设备

权利要求书

1.一种具有清洗装置的硅片加工设备，包括壳体(1)，其特征在于：所述壳体(1)的内部活动连接有推板(2)，所述推板(2)的顶部固定连接有放置块(3)，所述放置块(3)的顶部开设有容纳槽，所述容纳槽的内部设有硅片本体(4)，所述壳体(1)后侧的内壁活动连接有移动板(5)，所述移动板(5)的正面固定连接有安装块(6)，所述安装块(6)的底部固定安装有清洁垫(7)，所述安装块(6)顶部的左右两侧均固定连接有竖板(8)，两个所述竖板(8)相对的一侧活动连接有下压板(9)，所述下压板(9)的顶部固定连接有第一弹簧(10)，所述第一弹簧(10)的顶端固定连接有盒体(11)，所述盒体(11)的内部设有洗涤液，所述盒体(11)的底部固定连接有输水管(12)，所述输水管(12)的底端与安装块(6)的顶部活动插接，所述盒体(11)的左侧固定连接有连接杆(13)，所述连接杆(13)的左端与壳体(1)左侧的内壁活动插接。

2.根据权利要求1所述的一种具有清洗装置的硅片加工设备，其特征在于：所述壳体(1)后侧的内壁固定连接有固定块(14)，所述移动板(5)的背面开设有U形槽，所述固定块(14)与U形槽的内部滑动连接。

3.根据权利要求1所述的一种具有清洗装置的硅片加工设备，其特征在于：两个所述竖板(8)相对的一侧均开设有滑槽(15)，所述下压板(9)的左右两侧分别与两个滑槽(15)的内部滑动连接。

4.根据权利要求1所述的一种具有清洗装置的硅片加工设备，其特征在于：两个所述竖板(8)相对一侧的底部均固定连接有第二弹簧(16)，两个所述第二弹簧(16)的另一端均固定连接有密封板(17)，两个所述密封板(17)的底部分别与安装块(6)顶部的左右两侧滑动连接。

5.根据权利要求4所述的一种具有清洗装置的硅片加工设备，其特征在于：两个所述密封板(17)背面的相对一侧均转动连接有安装架(18)，两个所述安装架(18)的顶端均与下压板(9)的背面转动连接。

6.根据权利要求1所述的一种具有清洗装置的硅片加工设备，其特征在于：所述连接杆(13)顶部的左侧固定连接有连接块(19)，所述壳体(1)左侧的顶部开设有通槽，所述连接块(19)与通槽的内部活动连接。