[实用新型]玻璃壳体内部制备均匀薄膜的镀膜蒸发装置

说明书

本实用新型涉及玻璃壳体镀膜领域，具体涉及玻璃壳体内部制备均匀薄膜的镀膜蒸发装置，包括高度调节机构、真空箱、锥形插套、蒸发舟、支撑架、混气机构、夹紧机构和玻璃壳，高度调节机构固定安装在真空箱的内侧底部，支撑架的顶部穿过锥形插套位于玻璃壳内，蒸发舟位于支撑架的顶部，真空箱包括箱体和箱盖，箱体的底部外缘上开设有一个抽气孔，该玻璃壳体内部制备均匀薄膜的镀膜蒸发装置，本实用新型可实现玻璃壳体内部的均匀镀膜。

技术领域

本实用新型涉及玻璃壳体镀膜领域，具体涉及玻璃壳体内部制备均匀薄膜的镀膜蒸发装置。

背景技术

光电倍增管阴极制备的关键工序，以在玻璃球壳的内表面(尤其是上半部分)形成均匀的一层或者多层功能膜层，提高光电子的转化能力和效率，实现对光信号的探测和光电转换。

玻璃球壳内壁面上形成广电阴极膜层的质量，是影响探测效率的关键因素。传统的方法是设置可旋转的蒸发源或是增添矫正板进而达到均匀镀膜的效果，但对于小尺寸的微通道板型(例如，3英寸、4英寸)的光电倍增管的应用的圆角方形玻璃壳，难以实现快递均匀镀膜。

实用新型内容

本实用新型的目的在于针对现有技术提出的问题，提供玻璃壳体内部制备均匀薄膜的镀膜蒸发装置。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种玻璃壳体内部制备均匀薄膜的镀膜蒸发装置，包括高度调节机构、真空箱、锥形插套、蒸发舟、支撑架、混气机构、夹紧机构和玻璃壳，高度调节机构、锥形插套、蒸发舟、支撑架、混气机构、夹紧机构和玻璃壳均位于真空箱内，高度调节机构固定安装在真空箱的内侧底部，锥形插套固定安装在高度调节机构上，玻璃壳的开口处套设在锥形插套的顶部，支撑架固定安装在真空箱的内侧底部，且支撑架的顶部穿过锥形插套位于玻璃壳内，蒸发舟位于支撑架的顶部，且蒸发舟的两个正负电极穿过支撑架与电源连接，混气机构用于对蒸发舟进行吹气，位于蒸发舟的顶部，夹紧机构能够上下滑动的安装在锥形插套的外缘上，且夹紧机构与支撑架可拆卸连接，真空箱包括箱体和箱盖，箱盖盖设在箱体的顶部，箱体的底部外缘上开设有一个抽气孔。

进一步的，高度调节机构包括环形托板、调节方柱、第一螺栓、螺母、四个导柱和连接条板，锥形插套固定安装在环形托板的顶部，且四个连接条板的一端均固定安装在环形托板的外缘上，且四个连接条板的另一端与箱体的内侧四周壁接触，四个导柱均分别穿过四个连接条板且与箱体的底部固定连接，连接条板上开设有在导柱上滑动的滑孔，第一螺栓位于一个连接条板的正上方，且第一螺栓的底部穿过连接条板与调节方柱连接，调节方柱顶部开设有与第一螺栓连接的螺孔，调节方柱的底部与箱体的底部固定连接，螺母啮合在第一螺栓上，且螺母的顶部与连接条板的底部抵触。

进一步的，支撑架包括支撑管、固定块、和两个延伸管，固定块的底部固定安装在箱体的内侧底部，固定块的顶部穿过锥形插套且与锥形插套共轴线，延伸管固定安装在固定块的内侧顶部，且两个支撑管均分别固定安装在延伸管的顶部，蒸发舟的底部与支撑管的顶部抵触，且蒸发舟的正负极分别穿过两个支撑管和一个延伸管与设置在固定块内的电源线连接。

进一步的，夹紧机构包括套环、固定板、第二螺栓、拉板、四个铰接臂和抵柱，四个抵柱呈竖直位于锥形插套的外侧，四个抵柱均位于锥形插套内，且四个抵柱的底部均分别与四个铰接臂固定连接，锥形插套上开设有四个供铰接臂穿过的条形避让缺口，四个铰接臂的底部均与套环的外缘固定连接，拉板固定安装在套环的外缘上，固定板固定安装在，固定块的外缘上，且第二螺栓的顶部穿过固定板与拉板连接，拉板上开设有与第二螺栓啮合连接的螺孔。