[实用新型]玻璃壳体内部制备均匀薄膜的镀膜蒸发装置有效
| 申请号: | 202022669953.0 | 申请日: | 2020-11-18 |
| 公开(公告)号: | CN213739194U | 公开(公告)日: | 2021-07-20 |
| 发明(设计)人: | 周鑫;李丹 | 申请(专利权)人: | 南京蔚特尔智能科技有限公司 |
| 主分类号: | C03C17/00 | 分类号: | C03C17/00;C23C14/26 |
| 代理公司: | 南京行高知识产权代理有限公司 32404 | 代理人: | 王菊花 |
| 地址: | 210000 江苏省南京市建邺区*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 玻璃 壳体 内部 制备 均匀 薄膜 镀膜 蒸发 装置 | ||
1.玻璃壳体内部制备均匀薄膜的镀膜蒸发装置,其特征在于,所述镀膜蒸发装置包括高度调节机构(1)、真空箱(2)、锥形插套(3)、蒸发舟(4)、支撑架(6)、混气机构(7)、夹紧机构(8)和玻璃壳(9),其中:
所述高度调节机构(1)、锥形插套(3)、蒸发舟(4)、支撑架(6)、混气机构(7)、夹紧机构(8)和玻璃壳(9)均位于真空箱(2)内;
高度调节机构(1)固定安装在真空箱(2)的内侧底部;
锥形插套(3)固定安装在高度调节机构(1)上;
玻璃壳(9)的开口处套设在锥形插套(3)的顶部;
支撑架(6)固定安装在真空箱(2)的内侧底部,且支撑架(6)的顶部穿过锥形插套(3)位于玻璃壳(9)内;
蒸发舟(4)位于支撑架(6)的顶部,且蒸发舟(4)的两个正负电极穿过支撑架(6)与电源连接;
混气机构(7)用于对蒸发舟(4)进行吹气,位于蒸发舟(4)的顶部;
夹紧机构(8)能够上下滑动的安装在锥形插套(3)的外缘上,且夹紧机构(8)与支撑架(6)可拆卸连接;
真空箱(2)包括箱体(2a)和箱盖(2b),箱盖(2b)盖设在箱体(2a)的顶部,箱体(2a)的底部外缘上开设有一个抽气孔。
2.根据权利要求1所述的玻璃壳体内部制备均匀薄膜的镀膜蒸发装置,其特征在于,所述高度调节机构(1)包括环形托板(1b)、调节方柱(1d)、第一螺栓(1e)、螺母(1f)、四个导柱(1a)和连接条板(1c),锥形插套(3)固定安装在环形托板(1b)的顶部,且四个连接条板(1c)的一端均固定安装在环形托板(1b)的外缘上,四个连接条板(1c)的另一端与箱体(2a)的内侧四周壁接触;
四个导柱(1a)均分别穿过四个连接条板(1c)且与箱体(2a)的底部固定连接;
所述连接条板(1c)上开设有在导柱(1a)上滑动的滑孔;
所述第一螺栓(1e)位于一个连接条板(1c)的正上方,且第一螺栓(1e)的底部穿过连接条板(1c)与调节方柱(1d)连接,调节方柱(1d)顶部开设有与第一螺栓(1e)连接的螺孔,调节方柱(1d)的底部与箱体(2a)的底部固定连接,螺母(1f)啮合在第一螺栓(1e)上,且螺母(1f)的顶部与连接条板(1c)的底部抵触。
3.根据权利要求2所述的玻璃壳体内部制备均匀薄膜的镀膜蒸发装置,其特征在于,所述支撑架(6)包括支撑管(6a)、固定块(6c)、和两个延伸管(6b),固定块(6c)的底部固定安装在箱体(2a)的内侧底部,固定块(6c)的顶部穿过锥形插套(3)且与锥形插套(3)共轴线,延伸管(6b)固定安装在固定块(6c)的内侧顶部,且两个支撑管(6a)均分别固定安装在延伸管(6b)的顶部,蒸发舟(4)的底部与支撑管(6a)的顶部抵触,且蒸发舟(4)的正负极分别穿过两个支撑管(6a)和一个延伸管(6b)与设置在固定块(6c)内的电源线连接。
4.根据权利要求3所述的玻璃壳体内部制备均匀薄膜的镀膜蒸发装置,其特征在于,所述夹紧机构(8)包括套环(8c)、固定板(8d)、第二螺栓(8e)、拉板(8f)、四个铰接臂(8a)和抵柱(8b);
四个抵柱(8b)呈竖直位于锥形插套(3)的外侧,四个抵柱(8b)均位于锥形插套(3)内,且四个抵柱(8b)的底部均分别与四个铰接臂(8a)固定连接;
锥形插套(3)上开设有四个供铰接臂(8a)穿过的条形避让缺口,四个铰接臂(8a)的底部均与套环(8c)的外缘固定连接,拉板(8f)固定安装在套环(8c)的外缘上,固定板(8d)固定安装在固定块(6c)的外缘上,且第二螺栓(8e)的顶部穿过固定板(8d)与拉板(8f)连接,拉板(8f)上开设有与第二螺栓(8e)啮合连接的螺孔。
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