[实用新型]一种半导体配件的平磨加工工装有效

专利信息
申请号: 202022588022.8 申请日: 2020-11-10
公开(公告)号: CN213616027U 公开(公告)日: 2021-07-06
发明(设计)人: 付经友;孙智孝 申请(专利权)人: 大连恒友精密机械有限公司
主分类号: B24B37/10 分类号: B24B37/10;B24B47/22;B24B7/22;B24B41/06;B24B41/02;B24B55/06;B24B55/12
代理公司: 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 代理人: 黄丽玮
地址: 116000 辽宁省大连*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 一种 半导体 配件 加工 工装
【说明书】:

实用新型涉及机械加工的技术领域,特别是涉及一种半导体配件的平磨加工工装,其通过左右滑动第一滑块,使轮轴的位置进行左右移动,提高限位装置调节的便利性,通过将轮轴的外侧壁与卡槽的外侧壁贴紧,从而使轮轴对卡槽进行限位,提高卡槽固定的便利性,通过调节轮轴的位置,便于轮轴对不同大小的卡槽进行固定,减少装置使用局限性,通过打开第一电机带动转轴旋转,使转轴带动打磨盘旋转并对卡槽内的工件进行打磨,提高打磨效率;还包括底板、支柱、工作台、第一水槽、第一基座、第一连接杆、第二连接杆、第一滑块、轮轴、轴承、转轴、打磨盘和第一电机,底板顶端与支柱底端连接,支柱顶端与工作台底端连接,第一水槽安装在工作台的顶端。

技术领域

本实用新型涉及机械加工的技术领域,特别是涉及一种半导体配件的平磨加工工装。

背景技术

半导体配件的平磨加工工装是一种用于半导体配件的平磨加工的辅助装置,其在机械加工的领域中得到了广泛的使用;现有的一种半导体配件的平磨加工工装使用中发现,研磨机是用涂上或嵌入磨料的研具对工件表面进行研磨的磨床,主要用于研磨工件中的高精度平面、内外圆柱面、圆锥面、球面、螺纹面和其他型面,平面研磨机广泛用于蓝宝石衬底、光学玻璃晶片、石英晶片、硅片、诸片、模具、导光板、光扦接头等各种材料的单面研磨、抛光,目前使用的平磨加工装置对工件卡槽的固定限位装置调节的便利性较差,导致装置不能对不同大小的卡槽进行固定,装置的实用性较差。

实用新型内容

为解决上述技术问题,本实用新型提供一种通过左右滑动第一滑块,使轮轴的位置进行左右移动,提高限位装置调节的便利性,通过将轮轴的外侧壁与卡槽的外侧壁贴紧,从而使轮轴对卡槽进行限位,提高卡槽固定的便利性,通过调节轮轴的位置,便于轮轴对不同大小的卡槽进行固定,减少装置使用局限性,通过打开第一电机带动转轴旋转,使转轴带动打磨盘旋转并对卡槽内的工件进行打磨,提高打磨效率,提高实用性的一种半导体配件的平磨加工工装。

本实用新型的一种半导体配件的平磨加工工装,还包括底板、支柱、工作台、第一水槽、第一基座、第一连接杆、第二连接杆、第一滑块、轮轴、轴承、转轴、打磨盘和第一电机,底板顶端与支柱底端连接,支柱顶端与工作台底端连接,第一水槽安装在工作台的顶端,第一基座底端与第一水槽顶端连接,第一连接杆底端可旋转与第一基座顶端连接,并且第一基座上设置有固定阀门,固定阀门对第一连接杆的旋转起固定作用,第一连接杆上设置有通槽,第二连接杆可上下滑动设置在第一连接杆上,并且第二连接杆右端设置有限位块,第二连接杆的外侧壁上设置有固定旋钮,并且固定旋钮穿过第一连接杆通槽对第二连接杆进行固定,第一滑块可左右滑动套装在第二连接杆上,并且第一滑块顶端设置有固定阀门,固定阀门对第一滑块起固定左右,轮轴可旋转安装在第一滑块的底端,轴承底端与工作台顶端连接,转轴可旋转设置在轴承内,转轴顶端与打磨盘底端连接,第一电机安装在工作台的底端,并且第一电机顶端输出端与转轴底端连接。

本实用新型的一种半导体配件的平磨加工工装,还包括、第二基座、第三连接杆、第二滑块、气缸、第二电机和压盘,第二基座底端与工作台顶端连接,第二基座上设置有固定阀门,固定阀门对第二基座的旋转起固定作用,第三连接杆右端与第二基座外侧壁上部连接,第三连接杆顶端设置有往复机,第二滑块通过往复机可左右滑动套装在第三连接杆外侧壁上,气缸安装在第二滑块的外侧壁上,气缸底端输出端与第二电机顶端连接,第二电机底端输出端与压盘顶端连接。

本实用新型的一种半导体配件的平磨加工工装,还包括喷水头、第二水槽、水箱、水泵、过滤网和水管,喷水头安装在第三连接杆的底端,第二水槽设置在工作台上并与第二水槽内相通,水箱底端与底板顶端连接,水箱内设置有腔室,腔室顶端设置有进水口,进水口与腔室内相通,水泵安装在水箱外侧壁上,并且水泵输入端与腔室内相通,水泵输出端与喷水头输入端通过软管连通,过滤网的外延与水箱内侧壁连接并连通设置在腔室内,水管输入端与第二水槽内连通,水管输出端与腔室内相通。

本实用新型的一种半导体配件的平磨加工工装,还包括工件槽,工件槽设置在打磨盘的顶端。

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