[实用新型]一种CMP设备用压力传感器的连接结构

说明书

本实用新型提供一种CMP设备用压力传感器的连接结构，涉及压力传感器技术领域，包括研磨机和连接装置，研磨机的上表面滑动连接有液压臂，液压臂的表面固定连接有压力计，压力计和液压臂彼此靠近一端的表面设有连接装置，连接装置包括有卡环，卡环的内壁和液压臂的外表面固定连接，压力计的上表面设有接口，压力计的上表面固定连接有固定装置，固定装置包括有两个滑动块。本实用新型，解决了在将压力传感器安装完毕之后就能够使用了，但是在压力传感器使用时间过长时会出现损坏等问题需要将压力传感器取下来进行维修，但是传统的连接结构不能轻易的将压力传感器取下来，会造成拆卸时间延长的问题。

技术领域

本实用新型涉及压力传感器技术领域，尤其涉及一种CMP设备用压力传感器的连接结构。

背景技术

压力传感器是能感受压力信号，并能按照一定的规律将压力信号转换成可用的输出的电信号的器件或装置；压力传感器通常由压力敏感元件和信号处理单元组成；按不同的测试压力类型，压力传感器可分为表压传感器、差压传感器和绝压传感器。

一般在CMP研磨设备上也是会使用到压力传感器的，在将压力传感器安装完毕之后就能够使用了，但是在压力传感器使用时间过长时会出现损坏等问题需要将压力传感器取下来进行维修，但是传统的连接结构不能轻易的将压力传感器取下来，会造成拆卸时间的延长。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种CMP设备用压力传感器的连接结构。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种CMP设备用压力传感器的连接结构，包括研磨机和连接装置，所述研磨机的上表面滑动连接有液压臂，所述液压臂的表面固定连接有压力计，所述压力计和液压臂彼此靠近一端的表面设有连接装置，所述连接装置包括有卡环，所述卡环的内壁和液压臂的外表面固定连接，所述卡环靠近压力计的一端固定连接有支撑杆，所述支撑杆远离卡环一端的表面和压力计滑动连接，所述支撑杆两侧的表面均固定连接有两个凹块，且两个凹块以支撑杆的中心点对称分布，两个所述凹块的内壁均滑动连接有滑块，且两个滑块之前同一水平线上，所述滑块远离凹块的一端固定连接有连接块，且连接块借助滑块和凹块滑动连接。

优选的，两个所述连接块靠近卡环的一端均固定连接有两个凸块，且两个凸块在同一水平线上，所述支撑杆靠近卡环的一端固定连接有两个矩形块，两个所述凸块和矩形块彼此靠近的一端均固定连接有弹簧。

优选的，两个所述连接块的上表面均固定连接有斜块，且两个斜块彼此靠近的一端为“斜面”，并且斜块借助连接块和滑块固定连接。

优选的，两个所述连接块彼此靠近的一端均固定连接有垫块，且两个垫块在同一水平线上，两个所述垫块的上表面固定连接有压力计，所述支撑杆彼此靠近一端远离垫块的位置均固定连接有挡块。

优选的，所述压力计的上表面设有接口，所述压力计的上表面固定连接有固定装置，所述固定装置包括有两个滑动块，两个所述滑动块的底端和压力计的上表面滑动连接，两个所述滑动块彼此靠近的一端均固定连接有第一夹环，两个所述滑动块彼此靠近一端远离第一夹环的位置均固定连接有第二夹环，且第二夹环和第一夹环在同一水平线上，两个所述第一夹环和第二夹环彼此靠近的一端固定连接有接口。

优选的，两个所述滑动块彼此远离的一端均转动连接有螺纹杆，所述螺纹杆的外表面螺纹连接有固定块，所述固定块的底端和压力计的上表面固定连接。

与现有技术相比，本实用新型的优点和积极效果在于，