[实用新型]一种CMP设备用压力传感器的连接结构

权利要求书

1.一种CMP设备用压力传感器的连接结构，包括研磨机(1)和连接装置(4)，其特征在于：所述研磨机(1)的上表面滑动连接有液压臂(2)，所述液压臂(2)的表面固定连接有压力计(3)，所述压力计(3)和液压臂(2)彼此靠近一端的表面设有连接装置(4)，所述连接装置(4)包括有卡环(401)，所述卡环(401)的内壁和液压臂(2)的外表面固定连接，所述卡环(401)靠近压力计(3)的一端固定连接有支撑杆(402)，所述支撑杆(402)远离卡环(401)一端的表面和压力计(3)滑动连接，所述支撑杆(402)两侧的表面均固定连接有两个凹块(403)，且两个凹块(403)以支撑杆(402)的中心点对称分布，两个所述凹块(403)的内壁均滑动连接有滑块(406)，且两个滑块(406)之前同一水平线上，所述滑块(406)远离凹块(403)的一端固定连接有连接块(404)，且连接块(404)借助滑块(406)和凹块(403)滑动连接。

2.根据权利要求1所述的一种CMP设备用压力传感器的连接结构，其特征在于：两个所述连接块(404)靠近卡环(401)的一端均固定连接有两个凸块(405)，且两个凸块(405)在同一水平线上，所述支撑杆(402)靠近卡环(401)的一端固定连接有两个矩形块(410)，两个所述凸块(405)和矩形块(410)彼此靠近的一端均固定连接有弹簧(407)。

3.根据权利要求1所述的一种CMP设备用压力传感器的连接结构，其特征在于：两个所述连接块(404)的上表面均固定连接有斜块(411)，且两个斜块(411)彼此靠近的一端为“斜面”，并且斜块(411)借助连接块(404)和滑块(406)固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种CMP设备用压力传感器的连接结构，其特征在于：两个所述连接块(404)彼此靠近的一端均固定连接有垫块(409)，且两个垫块(409)在同一水平线上，两个所述垫块(409)的上表面固定连接有压力计(3)，所述支撑杆(402)彼此靠近一端远离垫块(409)的位置均固定连接有挡块(408)。

5.根据权利要求1所述的一种CMP设备用压力传感器的连接结构，其特征在于：所述压力计(3)的上表面设有接口(6)，所述压力计(3)的上表面固定连接有固定装置(5)，所述固定装置(5)包括有两个滑动块(52)，两个所述滑动块(52)的底端和压力计(3)的上表面滑动连接，两个所述滑动块(52)彼此靠近的一端均固定连接有第一夹环(53)，两个所述滑动块(52)彼此靠近一端远离第一夹环(53)的位置均固定连接有第二夹环(54)，且第二夹环(54)和第一夹环(53)在同一水平线上，两个所述第一夹环(53)和第二夹环(54)彼此靠近的一端固定连接有接口(6)。

6.根据权利要求5所述的一种CMP设备用压力传感器的连接结构，其特征在于：两个所述滑动块(52)彼此远离的一端均转动连接有螺纹杆(55)，所述螺纹杆(55)的外表面螺纹连接有固定块(51)，所述固定块(51)的底端和压力计(3)的上表面固定连接。