[实用新型]HVPE排气、镓分离收集装置有效
| 申请号： | 202022168549.5 | 申请日： | 2020-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN213327938U | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 李枝旺;王亮 | 申请（专利权）人： | 镓特半导体科技（铜陵）有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/40 | 分类号： | C30B29/40;C30B25/14;C22B58/00 |
| 代理公司： | 铜陵市嘉同知识产权代理事务所(普通合伙) 34186 | 代理人： | 吴晨亮 |
| 地址： | 244000 安徽省铜陵*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | hvpe 排气 分离 收集 装置 | ||
【权利要求书】：
1.HVPE排气、镓分离收集装置,其特征是：它包括：反应腔（1）；分流装置（2），所述分流装置通过腔体排气管与反应腔连通；法兰（3），所述法兰与分流装置连通；第一阀门（4），所述第一阀门与分流装置连通；镓容器（5），所述镓容器与第一阀门连通；第二阀门（6），所述第二阀门与镓容器连通；排气管路（7），所述排气管路分别与第二阀门和法兰连通。
2.如权利要求1所述的HVPE排气、镓分离收集装置,其特征是：所述第一阀门和第二阀门是电磁阀。
3.如权利要求1所述的HVPE排气、镓分离收集装置,其特征是：所述第一阀门和第二阀门是手动阀。
4.如权利要求1所述的HVPE排气、镓分离收集装置,其特征是：所述分流装置是重力沉降分离器。
5.如权利要求4所述的HVPE排气、镓分离收集装置,其特征是：所述第一阀门连通在重力沉降分离器的底部，所述法兰连通在重力沉降分离器的侧壁。
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