[实用新型]半导体衬底晶片生产废水处理系统

权利要求书

1.半导体衬底晶片生产废水处理系统，其特征在于：包括支架(1)，所述支架(1)的数量为两个，两个所述支架(1)之间固定安装有中和箱(5)和排液斗(2)，所述中和箱(5)的上表面右侧固定安装有进液管(9)，所述中和箱(5)的下端固定安装有电磁阀(11)，所述中和箱(5)的下表面左侧固定安装有驱动装置(3)，所述驱动装置(3)的右侧安装有过滤装置(4)，所述过滤装置(4)位于排液斗(2)的上侧；

所述过滤装置(4)包括安装在驱动装置(3)内侧的支撑筒(41)，所述支撑筒(41)的内部下端固定安装有过滤网(42)，所述过滤网(42)为半球形结构，所述过滤网(42)的下端固定安装有振动器(44)，所述支撑筒(41)和过滤网(42)的内侧紧密贴合有复合过滤袋(43)，所述复合过滤袋(43)的开口位于电磁阀(11)的下侧。

2.根据权利要求1所述的半导体衬底晶片生产废水处理系统，其特征在于：所述驱动装置(3)包括固定安装在中和箱(5)下表面左侧的转动电机(31)，所述转动电机(31)的输出轴下端固定安装有翻转电机(32)，所述翻转电机(32)的输出轴右端固定安装有支撑框(33)，所述支撑框(33)的内表面均匀固定安装有空气弹簧件(34)的一端，所述空气弹簧件(34)的另一端与支撑筒(41)外表面固定装配。

3.根据权利要求1所述的半导体衬底晶片生产废水处理系统，其特征在于：所述中和箱(5)的上端固定安装有搅拌器(8)，所述搅拌器(8)的搅拌架转动安装在中和箱(5)的内部。

4.根据权利要求1所述的半导体衬底晶片生产废水处理系统，其特征在于：所述中和箱(5)的上表面左侧固定安装有投药管(6)和清水管(7)的一端，所述投药管(6)的另一端与外部给药系统连接装配，所述清水管(7)的另一端与清水供给系统连接装配。

5.根据权利要求1所述的半导体衬底晶片生产废水处理系统，其特征在于：所述中和箱(5)的内部下侧固定安装有pH测量计(10)。