[实用新型]一种固体源容器及升华气体供应系统

权利要求书

1.一种固体源容器，其特征在于：包括固体源容器本体，固体源容器本体底端封闭、顶部敞口，固体源容器本体内腔在其底壁上设置有两个相交的隔板将整个固体源容器本体内腔分为四个区域，其中两个相对的区域为气体通道区域，另两个相对的区域为固体源放置区域；所述隔板的高度低于固体源容器的高度；以两个隔板的相交线为中心轴线设置有载气管道口；气体通道区域的固体源容器本体底壁上均匀开设有第一气孔。

2.如权利要求1所述的固体源容器，其特征在于：在固体源容器本体底部设有与气体通道区域相适配的缓冲板；所述缓冲板包括一个扇形底板，扇形底板上在与载气管道口正对的扇底位置以及与扇底相邻的两侧位置各设置一侧板；扇形底板上均匀开设有格栅或第二气孔。

3.如权利要求1所述的固体源容器，其特征在于：两个隔板的相交线与固体源容器本体的中心轴线在同一条直线上。

4.如权利要求1所述的固体源容器，其特征在于：固体源容器本体呈圆柱状。

5.一种升华气体供应系统，包含如权利要求1-4之任一项所述的固体源容器，其特征在于：所述升华气体供应系统还包括主升华容器，主升华容器、固体源容器两者的形状相同，固体源容器的数量为多个；

主升华容器包括主升华容器本体以及与其可拆卸式固定连接的主升华容器顶盖，主升华容器顶盖上设有载气管道进口、出气口，主升华容器本体内腔底壁放置有支撑环，支撑环上由下至上叠放多个固体源容器，上下相邻的两个固体源容器的气体通道区域和固体源放置区域交错布置；固体源容器的外壁紧贴主升华容器本体内壁但固体源容器可上下自由取出或装入主升华容器本体；支撑环的外缘尺寸≤固体源容器的外缘尺寸以保证支撑环支撑住最下方的固体源容器的同时该固体源容器的底面腾空而不接触主升华容器本体的底壁；

载气管道进口连接有载气管道，载气管道一端连接载气瓶、另一端伸入主升华容器本体内贯穿固体源容器的载气管道口直至主升华容器本体的底端，主升华容器的出气口通过管道连接至下一道工序的化学气相沉积室；连接主升华容器出气口的管道上设有一脉冲控制的单向阀门；

主升华容器设置有加热单元，加热单元至少包括加热器。

6.如权利要求5所述的升华气体供应系统，其特征在于：所述升华气体供应系统还包括辅助升华容器，主升华容器、辅助升华容器、固体源容器三者的形状相同；

辅助升华容器包括辅助升华容器本体以及与其可拆卸式固定连接的辅助升华容器顶盖，辅助升华容器顶盖上设有进气口、出气口；

主升华容器的出气口通过管道连接至辅助升华容器的进气口并伸入辅助升华容器本体内部直至辅助升华容器本体的底端，辅助升华容器的出气口通过管道连接至下一道工序的化学气相沉积室；连接主升华容器出气口的管道、连接辅助升华容器出气口的管道上各自设一脉冲控制的单向阀门；

主升华容器和辅助升华容器各自设置有加热单元，加热单元至少包括加热器。

7.如权利要求5或6所述的升华气体供应系统，其特征在于：加热单元还包括温度调节器、温度传感器；主升华容器和辅助升华容器各自设置在对应的加热器内，温度传感器对应设置在主升华容器和辅助升华容器的侧壁上，温度调节器对应设置在主升华容器和辅助升华容器的外周空闲位置处。

8.如权利要求6所述的升华气体供应系统，其特征在于：辅助升华容器内腔也设有支撑环和多个固体源容器，支撑环、多个固体源容器与辅助升华容器之间的构造关系同主升华容器。

9.如权利要求6所述的升华气体供应系统，其特征在于：辅助升华容器连同与其对应的加热器下方设置有称重装置。

10.如权利要求9所述的升华气体供应系统，其特征在于：称重装置两端各设一支架，连接辅助升华容器的进气口和出气口的管道分别固定在对应侧的支架上。