[实用新型]一种蒸镀薄膜生产用真空室清洁装置有效

专利信息
申请号: 202021970770.6 申请日: 2020-09-10
公开(公告)号: CN212894943U 公开(公告)日: 2021-04-06
发明(设计)人: 昙艳;李不和 申请(专利权)人: 铜仁学院;贵州德胜源商业服务有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24
代理公司: 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 代理人: 刘宇波
地址: 554300 贵州省*** 国省代码: 贵州;52
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摘要:
搜索关键词: 一种 薄膜 生产 真空 清洁 装置
【说明书】:

实用新型公开了一种蒸镀薄膜生产用真空室清洁装置,包括基座和驱动电机,所述基座的前端表面固定安装有驱动电机,所述第一连接板的前端表面连接有与驱动电机输出端固定的第一曲柄,所述齿盘的外侧设置有圆环,且齿盘的前端表面连接有第二曲柄,所述第二曲柄的底端连接有调节板,所述调节板的右端铰接有连接块,所述第二连接板的下表面安装有支腿,且支腿的底端连接有橡胶块,所述连接块的前端表面焊接有固定杆,所述第一安装板的外表面固定有第二安装板,且第二安装板的外表面连接有清洁刷。该蒸镀薄膜生产用真空室清洁装置,通过机械机构,使得清洁刷可以在真空室的内部进行自动的左右滑动,节约人力操作方便。

技术领域

本实用新型涉及蒸镀技术领域,具体为一种蒸镀薄膜生产用真空室清洁装置。

背景技术

蒸镀是指在真空条件下,采用加热蒸发的方式使得镀膜材料气化,气化后的镀膜材料粒子将会飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法,而在蒸镀时,则必须使用到真空室,但是在长期的使用中,真空室表面将会积聚杂质,从而影响蒸镀的进行,所以就需要定期对真空室进行清洁;

目前市面上在清洁真空室时,往往是人力控制清洁物品在真空室的内部来回滑动,较为麻烦,所以现开发出一种蒸镀薄膜生产用真空室清洁装置,以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种蒸镀薄膜生产用真空室清洁装置,以解决上述背景技术中提出的市面上在清洁真空室时,往往是人力控制清洁物品在真空室的内部来回滑动,较为麻烦的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种蒸镀薄膜生产用真空室清洁装置,包括基座和驱动电机,所述基座的前端表面固定安装有驱动电机,且驱动电机的前侧设置有与基座焊接的第一连接板,所述第一连接板的前端表面连接有与驱动电机输出端固定的第一曲柄,且第一曲柄的左端连接有齿盘,所述齿盘的外侧设置有圆环,且齿盘的前端表面连接有第二曲柄,所述第二曲柄的底端连接有调节板;

所述调节板的右端铰接有连接块,且连接块的前端外侧设置有与第一连接板右端固定的第二连接板,所述第二连接板靠近圆环的一端下表面固定有支杆,且支杆的底端与基座焊接,所述第二连接板的下表面安装有支腿,且支腿的底端连接有橡胶块,所述连接块的前端表面焊接有固定杆,且固定杆的右端固定连接有第一安装板,所述第一安装板的外表面固定有第二安装板,且第二安装板的外表面连接有清洁刷。

优选的,所述齿盘的前后两端表面分别与第一曲柄和第二曲柄铰接,且第二曲柄底端与调节板的连接方式也为铰接,并且第一曲柄、第二曲柄和调节板组合构成连动结构。

优选的,所述圆环的左端通过螺栓连接的方式与第一连接板固定连接,且圆环的内壁呈锯齿状凸出结构,并且圆环通过该凸出结构与齿盘啮合传动。

优选的,所述第二连接板的前端表面与下表面均呈槽状结构,且第二连接板和连接块的连接方式为卡合连接,并且连接块在第二连接板上为滑动结构。

优选的,所述支腿的顶端位于第二连接板下表面槽状结构的内部,且支腿的顶端外表面通过轴承与第二连接板进行连接。

优选的,所述第一安装板、第二安装板和清洁刷的纵切面均呈环形结构,且清洁刷和第二安装板通过粘贴的方式进行固定连接。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:该蒸镀薄膜生产用真空室清洁装置,通过机械机构,使得清洁刷可以在真空室的内部进行自动的左右滑动,节约人力操作方便;

1、齿盘的前后两端表面分别与第一曲柄和第二曲柄铰接,这样在驱动电机控制第一曲柄转动时,第一曲柄就会带动齿盘做圆周运动,而由于圆环内壁与齿盘啮合,所以此时齿盘自身又会转动,从而就可以通过调节板来带动连接块不停的左右滑动;

2、在连接块不停左右滑动时,由于第一安装板、第二安装板和清洁刷均与连接块构成整体,所以清洁刷也会不停左右滑动,此时插入在真空室内部的清洁刷就可以对真空室进行稳定的清洁;

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