[实用新型]一种蒸镀薄膜生产用真空室清洁装置有效

专利信息
申请号: 202021970770.6 申请日: 2020-09-10
公开(公告)号: CN212894943U 公开(公告)日: 2021-04-06
发明(设计)人: 昙艳;李不和 申请(专利权)人: 铜仁学院;贵州德胜源商业服务有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24
代理公司: 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 代理人: 刘宇波
地址: 554300 贵州省*** 国省代码: 贵州;52
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摘要:
搜索关键词: 一种 薄膜 生产 真空 清洁 装置
【权利要求书】:

1.一种蒸镀薄膜生产用真空室清洁装置,包括基座(1)和驱动电机(2),其特征在于:所述基座(1)的前端表面固定安装有驱动电机(2),且驱动电机(2)的前侧设置有与基座(1)焊接的第一连接板(3),所述第一连接板(3)的前端表面连接有与驱动电机(2)输出端固定的第一曲柄(4),且第一曲柄(4)的左端连接有齿盘(5),所述齿盘(5)的外侧设置有圆环(6),且齿盘(5)的前端表面连接有第二曲柄(16),所述第二曲柄(16)的底端连接有调节板(7);

所述调节板(7)的右端铰接有连接块(8),且连接块(8)的前端外侧设置有与第一连接板(3)右端固定的第二连接板(9),所述第二连接板(9)靠近圆环(6)的一端下表面固定有支杆(17),且支杆(17)的底端与基座(1)焊接,所述第二连接板(9)的下表面安装有支腿(10),且支腿(10)的底端连接有橡胶块(11),所述连接块(8)的前端表面焊接有固定杆(12),且固定杆(12)的右端固定连接有第一安装板(13),所述第一安装板(13)的外表面固定有第二安装板(14),且第二安装板(14)的外表面连接有清洁刷(15)。

2.根据权利要求1所述的一种蒸镀薄膜生产用真空室清洁装置,其特征在于:所述齿盘(5)的前后两端表面分别与第一曲柄(4)和第二曲柄(16)铰接,且第二曲柄(16)底端与调节板(7)的连接方式也为铰接,并且第一曲柄(4)、第二曲柄(16)和调节板(7)组合构成连动结构。

3.根据权利要求1所述的一种蒸镀薄膜生产用真空室清洁装置,其特征在于:所述圆环(6)的左端通过螺栓连接的方式与第一连接板(3)固定连接,且圆环(6)的内壁呈锯齿状凸出结构,并且圆环(6)通过该凸出结构与齿盘(5)啮合传动。

4.根据权利要求1所述的一种蒸镀薄膜生产用真空室清洁装置,其特征在于:所述第二连接板(9)的前端表面与下表面均呈槽状结构,且第二连接板(9)和连接块(8)的连接方式为卡合连接,并且连接块(8)在第二连接板(9)上为滑动结构。

5.根据权利要求1所述的一种蒸镀薄膜生产用真空室清洁装置,其特征在于:所述支腿(10)的顶端位于第二连接板(9)下表面槽状结构的内部,且支腿(10)的顶端外表面通过轴承与第二连接板(9)进行连接。

6.根据权利要求1所述的一种蒸镀薄膜生产用真空室清洁装置,其特征在于:所述第一安装板(13)、第二安装板(14)和清洁刷(15)的纵切面均呈环形结构,且清洁刷(15)和第二安装板(14)通过粘贴的方式进行固定连接。

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