[实用新型]抽空管道在线自清洁装置

说明书

本实用新型提供一种抽空管道在线自清洁装置，所述自清洁装置设置在硅单晶炉的真空抽空管道上，且所述自清洁装置靠近所述真空抽空管道的入口处，所述真空抽空管道上开设有穿入孔；所述自清洁装置包括通过所述穿入孔穿入所述真空抽空管道内的搅拌清洁装置和设置在所述真空抽空管道外，并驱动所述搅拌清洁装置工作的驱动机构。本实用新型能够在硅单晶炉正常运行状态下，驱动减速电机，带动搅拌清洁装置旋转，切割搅拌附着在真空抽空管道入口段内壁的杂质或挥发物，使所述杂质或挥发物脱离所述真空抽空管道内壁，并受真空泵组抽空负压力作用，所述杂质或挥发物流向过滤器和真空泵组、远离真空炉室，起到在线自清洁的作用。

技术领域

本实用新型涉及电子级或光伏级硅单晶生长技术领域，具体而言是一种硅单晶炉正常运行过程中，抽空管道在线自清洁装置。

背景技术

硅单晶是光伏电池和半导体工业的基础材料，90％以上的光伏电池和95％以上的半导体器件采用的是硅基衬底。基于光伏电池和半导体器件生产效率和降低成本诸方面的因素，随着硅单晶炉真空炉室、热场、运动装置、真空泵组及其控制系统运行稳定性的提高、石英坩埚制造技术的进步、和石英坩埚高温安全运行时间的加长，延长每炉次的运行时间、提高硅单晶单炉次产量是当前最为主要的发展方向。

每炉次运行时间越长、炉中所装盛的多晶硅料越多、挥发物越多、沉积在抽空管道的杂质或挥发物就越多，若得不到及时在线清理，轻则使抽空管道过流面积变小、过流能力降低、真空泵组对真空炉室抽空效率降低、真空炉室内压力逐渐升高，杂质或挥发物不能被排出、悬浮在真空炉室内、落入坩埚、漂浮在硅熔体表面,或沉积在硅晶棒、导流筒或炉盖内表面，堆积成片或成块掉落入坩埚内，造成晶体断线、无法继续生长等故障；重则堵塞抽空管道，真空炉室内压力不受控制地升高、造成设备和人员的安全事故。

因此抽空管道入口段杂质和挥发物的在线、及时清洁，是延长每炉次的运行时间和提高硅单晶单炉次产量、保持硅单晶质量稳定所面临的、最为重要的问题。

实用新型内容

根据上述技术问题，而提供一种抽空管道在线自清洁装置。本实用新型主要利用设置在硅单晶炉真空抽空管道入口处的在线杂质或挥发物搅拌清洁装置，使附着在真空抽空管道入口段内壁的杂质或挥发物，在硅单晶炉正常运行状态下脱离抽空管道内壁，并受真空泵组抽空负压力作用，远离真空炉室，起到清洁的作用；

本实用新型采用的技术手段如下：

一种抽空管道在线自清洁装置，所述自清洁装置设置在硅单晶炉的真空抽空管道上，且所述自清洁装置靠近所述真空抽空管道的入口处，所述真空抽空管道上开设有穿入孔；所述真空抽空管道靠近其入口处具有冷水夹层；

所述自清洁装置包括通过所述穿入孔穿入所述真空抽空管道内的搅拌清洁装置和设置在所述真空抽空管道外，并驱动所述搅拌清洁装置工作的驱动机构；

所述搅拌清洁装置包括旋转轴，所述旋转轴在所述真空抽空管道内的一端固定有搅拌机构，且所述搅拌机构靠近所述真空抽空管道的入口处；

所述驱动机构包括密封所述穿入孔的磁流体密封装置和驱动所述旋转轴转动的减速电机，所述旋转轴在所述真空抽空管道外的一端通过所述磁流体密封装置与所述减速电机的输出端连接。

所述搅拌机构包括多个围绕所述旋转轴的轴线均匀分布的搅拌体。

所述搅拌体包括搅拌臂和连接所述搅拌臂与所述旋转轴的多根连接臂，所述搅拌臂与所述真空抽空管道内壁之间距离由所述搅拌臂靠近所述真空抽空管道的入口处的一端至所述搅拌臂远离所述真空抽空管道的入口处的一端逐渐增大。

所述穿入孔处固定有与所述穿入孔相匹配的连接管，所述旋转轴通过所述连接管和所述穿入孔进入所述真空抽空管道内。