[实用新型]一种无仓门式微波等离子化学气相沉积系统

权利要求书

1.一种无仓门式微波等离子化学气相沉积系统，其特征在于：包括上下分离式腔体与升降托架(2)，所述上下分离式腔体包括上腔体(11)以及位于所述上腔体(11)下方的下腔体(12)，所述上腔体(11)与所述下腔体(12)采用胶圈密封对接；

所述升降托架(2)在所述上腔体(11)需要打开时，用于将所述上腔体(11)从所述下腔体(12)上分离开，所述升降托架(2)在所述上腔体(11)需要闭合时，用于将所述上腔体(11)盖合在所述下腔体(12)上。

2.根据权利要求1所述的一种无仓门式微波等离子化学气相沉积系统，其特征在于：所述升降托架(2)包括执行机构与支架(22)，所述支架(22)的一侧与所述上腔体(11)的外侧壁固定连接，所述执行机构用于驱动所述支架(22)从而带动所述上腔体(11)上下移动。

3.根据权利要求2所述的一种无仓门式微波等离子化学气相沉积系统，其特征在于：所述执行机构配置为气缸(21)，所述气缸(21)的推杆的顶端设置有支撑块(23)，所述支撑块(23)的上方设置有驱动板(24)，所述驱动板(24)固定在所述支架(22)上，所述支撑块(23)与所述驱动板(24)的底面可接触分离。

4.根据权利要求2所述的一种无仓门式微波等离子化学气相沉积系统，其特征在于：所述支架(22)的四角分别设置有直线滑轨(25)，所述直线滑轨(25)嵌设直线轴承(29)中，所述直线轴承(29)固定在支撑板(28)中，所述直线滑轨(25)与所述支撑板(28)垂直滑动连接。

5.根据权利要求4所述的一种无仓门式微波等离子化学气相沉积系统，其特征在于：所述支架(22)的下方设置有底座(26)，所述底座(26)周边设置有缓冲器(27)，所述缓冲器(27)的顶部高于所述底座(26)以及所述下腔体(12)的顶面，且靠近所述支架(22)的底面。

6.根据权利要求5所述的一种无仓门式微波等离子化学气相沉积系统，其特征在于：所述支撑板(28)设置在所述支架(22)的下方，所述支撑板(28)上固定所述下腔体(12)、所述底座(26)、所述执行机构、所述缓冲器(27)和所述直线轴承(29)。

7.根据权利要求2所述的一种无仓门式微波等离子化学气相沉积系统，其特征在于：所述支架(22)的上方设置有用于承托微波电源的承托平台(35)。