[实用新型]镀膜设备

权利要求书

1.镀膜设备，其特征在于，包括：

一镀膜装置，所述镀膜装置用于通过等离子体气相沉积的方式形成膜层；

一原料气化装置，所述原料气化装置用于为所述镀膜设备提供气化原料，所述原料气化装置包括：

一第一级气化部件，所述第一级气化部件用于将送入的原料进行初级气化；

一第二级气化部件，所述第二级气化部件用于将第一级气化部件初级气化后的原料进一步气化；和

一进料控制部，其中所述进料控制部用于送入需要被气化的原料，所述进料控制部控制地连通所述第一级气化部件。

2.根据权利要求1所述的镀膜设备，其中所述进料控制部的进料方向大致沿竖直的方向，所述第一级气化部件和所述第二级气化部件大致沿水平方向布置。

3.根据权利要求1所述的镀膜设备，其中所述进料控制部包括一第一进料嘴、一组控制阀和一组进料管，所述第一进料嘴、所述一组控制阀和所述一组进料管通过所述一组控制阀可控制地连通形成一进料通道。

4.根据权利要求3所述的镀膜设备，其中所述进料通道大致沿竖直方向。

5.根据权利要求3所述的镀膜设备，其中所述一组控制阀包括一第一控制阀和一第二控制阀，所述第一控制阀和所述第一进料嘴连接，所述第二控制阀通过一进料管连接所述第一控制阀。

6.根据权利要求5所述的镀膜设备，其中所述第一控制阀是一隔膜阀，所述第二控制阀是一三通阀。

7.根据权利要求1所述的镀膜设备，其中所述第一级气化部件包括一第一气化箱，所述第一气化箱具有一预热腔和一第一加热腔，所述预热腔和所述第一加热腔部分地连通。

8.根据权利要求7所述的镀膜设备，其中所述第一气化箱具有一第一入口，所述第一入口连通所述预热腔，所述进料控制部连接于所述第一入口。

9.根据权利要求8所述的镀膜设备，其中所述第一气化箱具有一局部连通通道，所述局部连通通道布局连通所述预热腔和所述第一加热腔。

10.根据权利要求9所述的镀膜设备，其中所述第一入口和所述局部连通通道错位地设置。

11.根据权利要求7所述的镀膜设备，其中所述预热腔和所述第一加热腔沿竖向并列地设置。

12.根据权利要求7所述的镀膜设备，其中所述第一级气化部件包括一组加热件，所述一组加热件包括一预热件和一第一加热件，所述预热件为所述预热腔加热，所述第一加热件为所述第一加热腔加热，所述预热件和所述第一加热件相互独立地加热。

13.根据权利要求9所述的镀膜设备，其中所述第一气化箱具有一第一出口，所述第一出口连通所述第一加热腔，所述第一出口与所述局部连通通道相对侧地设置。

14.根据权利要求13所述的镀膜设备，其中所述第一入口的位置高于所述第一出口的位置。

15.根据权利要求14所述的镀膜设备，其中所述第一气化箱包括一第一主体和一第一盖体，所述第一盖体可拆卸地连接于所述第一主体，所述第一盖体和所述第一主体相接形成所述预热腔和所述第一加热腔。

16.根据权利要求15所述的镀膜设备，其中所述第一气化箱包括第一密封件，所述第一密封件被设置于所述第一盖体和所述第一主体相接的位置。

17.根据权利要求15所述的镀膜设备，其中所述第一主体包括一间隔壁，将所述第一主体内部分隔为两个空间。