[实用新型]一种硅片自动上粉的装置有效

专利信息
申请号: 202021000576.5 申请日: 2020-06-04
公开(公告)号: CN212010901U 公开(公告)日: 2020-11-24
发明(设计)人: 沈怡东;周榕华;钱如意 申请(专利权)人: 捷捷半导体有限公司
主分类号: H01L21/56 分类号: H01L21/56;H01L23/31
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 张丽丽;韩蕾
地址: 226017 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 硅片 自动 装置
【权利要求书】:

1.一种硅片自动上粉的装置,该装置包括:传输设备、刮粉板、上粉设备;其中,

上粉设备用于将玻璃糊涂覆在硅片上,上粉设备包括超声设备和储罐,储罐用于盛装玻璃糊,超声设备用于超声处理储罐内的材料;

传输设备用于传送硅片,用于将硅片送入储罐的玻璃糊内,并将上粉后的硅片由玻璃糊中带离,经过刮粉板,去除上粉后硅片表面多余的玻璃糊。

2.根据权利要求1所述的装置,其中,传输设备包括两个转动轮和传送带。

3.根据权利要求2所述的装置,其中,转动轮带动传送带传动;传送带用于传送硅片。

4.根据权利要求2所述的装置,其中,储罐设置在两个转动轮之间。

5.根据权利要求4所述的装置,其中,储罐内设置滑轮,滑轮用于使传送带经过玻璃糊。

6.根据权利要求2所述的装置,其中,所述传送带为由聚四氟乙烯制成的皮带。

7.根据权利要求1所述的装置,其中,刮粉板的长度为12cm-15cm,宽度为1cm-2cm,高度为1.5cm-3cm。

8.根据权利要求1所述的装置,其中,该装置还包括刮粉板支架。

9.根据权利要求1所述的装置,其中,硅片固定在传送带上。

10.根据权利要求9所述的装置,其中,固定的方式为真空吸附或机械夹持。

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