[实用新型]一种用于安装定位单口晶片的托盘结构

说明书

本实用新型公开了一种用于安装定位单口晶片的托盘结构，包括托盘本体及与托盘本体相配合用于压住晶片的上盖，所述托盘本体上间隔设置有一组用于放置单口晶片的载片台，所述载片台的外圈上设置有与单口晶片相适配的凹口，所述载片台的外围还设置有环形凹槽，所述环形凹槽内设置有可上下浮动的定位凸台，所述定位凸台上设置有与凹口相适配的凸起。本实用新型能够实现单口晶片的快速安装定位，结构简单，效率高，可广泛应用于单口晶片刻蚀时的安装定位领域。

技术领域

本实用新型涉及蓝宝石图形化衬底加工技术领域，尤其是涉及一种用于安装定位单口晶片的托盘结构。

背景技术

目前由于5G时代的到来，因其超高速率、超低延时、超高密度等优势，给超高清显示带来特别的发展机遇。在综合LCD、OLED、Mini/Micro-LED各方面性能时，Mini/Micro-LED在低能耗、高亮度、高分辨率等方面具有显著优势，也被称为终极显示技术，是目前LED行业发展最主要方向。所以行业内很多企业纷纷布局Mini/Micro-LED相关产业，正因如此，使得LED产业链中上游图形化蓝宝石衬底(简称PSS)显得尤其关键。

传统PSS在尺寸上显然无法和Micro-LED芯片尺寸大小匹配，随之而来PSS尺寸向更微小化迈进，且Micro-LED在芯片转移时数量巨大，所以PSS一致性要求是其主要挑战，目前比较好的方案为采用800微米厚度的单个缺口的晶片，在其表面刻蚀出超高均匀性的纳米级蒙古包图形，实现超高的外延一致性。目前PSS所使用的托盘为铝材质，将蓝宝石晶片安装到托盘上一般借助摆片工装的方式，先把摆片工装放置在托盘上，再把蓝宝石晶片装到摆片工装的定位槽内，取下摆片工装，盖上托盘上盖。整个装片过程繁琐不易操作，要求操作人员具有较高的熟练程度及耐心，并且在装上盖的过程中一旦蓝宝石晶片发生移位，需要把晶片取下重新装片，造成晶片划伤的可能性非常大，完成一块托盘的装片正常要费时20分钟左右。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种用于安装定位单口晶片的托盘结构，解决现有单口晶片装配效率低，易造成晶片破损的问题。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种用于安装定位单口晶片的托盘结构，包括托盘本体及与托盘本体相配合用于压住晶片的上盖，所述托盘本体上间隔设置有一组用于放置单口晶片的载片台，所述载片台的外圈上设置有与单口晶片相适配的凹口，所述载片台的外围还设置有环形凹槽，所述环形凹槽内设置有可上下浮动的定位凸台，所述定位凸台上设置有与凹口相适配的凸起。

具体的，所述定位凸台包括环状本体和设置在环状本体外壁上的一组支脚，所述支脚包括与环状本体连接的连接杆和设置在连接杆上的限位柱，所述托盘本体上设置有与限位柱相适配的定位孔，所述连接杆与托盘本体间设置有复位弹簧。

为保证上盖盖下后对单口晶片起到很好的固定作用，所述上盖上设置有一组与载片台相适配的让位孔，所述让位孔的圆周上设置有一组压在单口晶片上的压脚。

优选的，所述压脚距离单口晶片外边缘的距离为0.5～0.8mm。

为提高装配后载片台的密封性，所述定位凸台与载片台间设置有密封圈，所述密封圈上设置有卡入凹口内的定位筋。

为提高托盘本体的散热性，所述托盘本体和载片台上均匀设置有一组冷却气孔。

为进一步提高上盖对单口晶片的压紧力，所述托盘本体位于载片台的四周设置有一组用于锁紧上盖的螺钉孔，所述上盖上对应位置也设置有固定孔。