[实用新型]一种用于安装定位单口晶片的托盘结构有效
| 申请号： | 202020914648.0 | 申请日： | 2020-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN212303621U | 公开（公告）日： | 2021-01-05 |
| 发明（设计）人： | 张磊;李昌勋;徐良;刘建哲;朱伟明 | 申请（专利权）人： | 黄山博蓝特半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 芜湖众汇知识产权代理事务所(普通合伙) 34128 | 代理人： | 曹宏筠 |
| 地址： | 245000 安徽省黄山*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 安装 定位 单口 晶片 托盘 结构 | ||
1.一种用于安装定位单口晶片的托盘结构，包括托盘本体(1)及与托盘本体(1)相配合用于压住晶片的上盖(2)，其特征在于：所述托盘本体(1)上间隔设置有一组用于放置单口晶片的载片台(3)，所述载片台(3)的外圈上设置有与单口晶片相适配的凹口(301)，所述载片台(3)的外围还设置有环形凹槽(4)，所述环形凹槽(4)内设置有可上下浮动的定位凸台(5)，所述定位凸台(5)上设置有与凹口(301)相适配的凸起(501)。
2.如权利要求1所述的用于安装定位单口晶片的托盘结构，其特征在于：所述定位凸台(5)包括环状本体(502)和设置在环状本体(502)外壁上的一组支脚(503)，所述支脚(503)包括与环状本体(502)连接的连接杆(5031)和设置在连接杆(5031)上的限位柱(5032)，所述托盘本体(1)上设置有与限位柱(5032)相适配的定位孔(101)，所述连接杆(5031)与托盘本体(1)间设置有复位弹簧(6)。
3.如权利要求1所述的用于安装定位单口晶片的托盘结构，其特征在于：所述上盖(2)上设置有一组与载片台(3)相适配的让位孔(201)，所述让位孔(201)的圆周上设置有一组压在单口晶片上的压脚(202)。
4.如权利要求3所述的用于安装定位单口晶片的托盘结构，其特征在于：所述压脚(202)距离单口晶片外边缘的距离为0.5～0.8mm。
5.如权利要求1所述的用于安装定位单口晶片的托盘结构，其特征在于：所述定位凸台(5)与载片台(3)间设置有密封圈(7)，所述密封圈(7)上设置有卡入凹口(301)内的定位筋(701)。
6.如权利要求1所述的用于安装定位单口晶片的托盘结构，其特征在于：所述托盘本体(1)和载片台(3)上均匀设置有一组冷却气孔(8)。
7.如权利要求1所述的用于安装定位单口晶片的托盘结构，其特征在于：所述托盘本体(1)位于载片台(3)的四周设置有一组用于锁紧上盖(2)的螺钉孔(9)，所述上盖(2)上对应位置也设置有固定孔(10)。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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