[实用新型]一种改良型导气组件有效

专利信息
申请号: 202020894665.2 申请日: 2020-05-25
公开(公告)号: CN211907395U 公开(公告)日: 2020-11-10
发明(设计)人: 覃荣俊 申请(专利权)人: 中之半导体科技(东莞)有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 东莞市永桥知识产权代理事务所(普通合伙) 44400 代理人: 何新华
地址: 523430 广东省东莞*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 改良 型导气 组件
【说明书】:

本实用新型提供一种改良型导气组件,包括进气盘和出气盘结构,进气盘的外侧面周向阵列设置有若干进气孔,进气盘的上表面绕轴心周向阵列设置有若干长槽A,进气孔横向延伸至长槽A的下方并且通过通气孔A与长槽A连通;长槽A的长度大于相邻两长槽A之间的相距长度;出气盘结构包括垫圈A、耐磨块、出气盘,耐磨块的下表面凸设有垫高环,垫高环的下表面开设有长槽B,各长槽B的顶部均开设有通气孔B,出气盘的下表面与通气孔B对应的位置开设置有若干通气孔C,出气盘的外侧面周向阵列设置有若干出气孔,出气孔横向延伸至与通气孔C连通。通过调整进气盘和出气盘的结构,实现在旋转过程中的持续通气,从而提升导气的稳定性。

技术领域

本实用新型涉及二极管加工技术领域,尤其涉及一种改良型导气组件。

背景技术

中国实用新型授权公告号为CN209282178U,申请日为2019年01月21日,专利名称为一种旋转导气结构,其披露了一种旋转导气结构,包括固定架、以及安装在所述固定架上的旋转导气装置,所述旋转导气装置包括固定柱、套设在所述固定柱下端外侧的旋转支撑组件、套设在所述固定柱上端外侧的导气组件、以及位于所述旋转支撑组件与所述导气组件之间的弹簧,所述旋转支撑组件包括轴承座、位于所述轴承座内侧的轴承、以及位于所述轴承下侧的轴承顶板,所述导气组件包括进气盘、位于所述进气盘上侧的上换气盘、以及位于所述上换气盘上侧的出气盘,所述出气盘与所述固定柱配合连接,所述上换气盘、出气盘与所述固定柱之间均具有间隙,所述进气盘上设有若干进气孔,所述上换气盘上设有若干换气孔,所述出气盘上设有若干出气孔。这个结构存在的缺陷是出气盘在旋转过程中不能实现持续的导气,导气的稳定性差。亟待改进。

实用新型内容

基于此,本实用新型的目的在于提供一种改良型导气组件,通过调整进气盘和出气盘的结构,实现在旋转过程中的持续通气,从而提升导气的稳定性。

本实用新型提供一种改良型导气组件,包括进气盘和出气盘结构,所述进气盘的外侧面周向阵列设置有若干进气孔,所述进气盘的上表面绕轴心周向阵列设置有若干长槽A,所述进气孔横向延伸至所述长槽A的下方并且通过通气孔A与所述长槽A连通;所述长槽A的长度大于相邻两所述长槽A之间的相距长度;所述出气盘结构从下至上依次包括垫圈A、耐磨块、出气盘,所述垫圈A、耐磨块、出气盘连接在一起,所述耐磨块的下表面凸设有垫高环,所述垫高环的下表面开设有与所述长槽A位置对应并且数量相同的长槽B,各所述长槽B的顶部均开设有通气孔B,所述出气盘的下表面与所述通气孔B对应的位置开设置有若干通气孔C,所述出气盘的外侧面周向阵列设置有若干出气孔,所述出气孔横向延伸至与所述通气孔C连通。

作为优选的方案,所述垫圈A通过螺丝依次与所述耐磨块、出气盘固定连接。

作为优选的方案,所述耐磨块的下表面并且位于所述垫高环的内环面设置有垫圈B,所述垫圈B通过螺丝贯穿所述耐磨块与所述出气盘连接。

作为优选的方案,所述进气孔的数量设置为8个,所述长槽A的数量设置为8个;所述出气孔的数量设置为8个,所述长槽B的数量设置为8个。

作为优选的方案,所述耐磨块设置为赛钢耐磨块。

本实用新型的有益效果为:各进气孔上均通过接头连接有进气管,各出气孔上均通过接头连接出气管,当导气结构中的转轴带动出气盘结构相对于进气盘转动时,向各进气管输入负气压,负气压通过通气孔A进入到长槽A,再由长槽A进入到长槽B,再依次通过通气孔B、通气孔C、出气孔进入到出气管,由于长槽A的长度大于相邻两长槽A之间的相距长度,长槽B与长槽A的位置对应并且数量相同,因此长槽B的长度也大于相邻两长槽B之间的相距长度,在长槽A转动至与长槽B重合之前,即使通气孔A与通气孔B、通气孔C不重合,只要长槽B覆盖到长槽A,仍能够确保各出气孔有负压气体通过,实现在旋转过程中的持续通气,从而提升导气的稳定性;当长槽B转动至与长槽A重合,也便于对出气管进行通、断气动作。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

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