[实用新型]一种分离式炉门柜结构

说明书

一种分离式炉门柜结构，包括炉门固定机构、炉门柜架以及炉门开合装置；所述炉门固定机构与炉门柜架可拆式连接；所述炉门开合装置设置于炉门固定机构；本实用新型通过设置可拆式的炉门柜架以及炉门固定机构，能够将原本一体的装置拆分后进行转移，方便转移以及保证转移装置时候的安全。

技术领域

本实用新型涉及太阳能光伏电池制造领域，特别是涉及一种分离式炉门柜结构。

背景技术

目前光伏材料在行业中的应用越来越广泛，其中在光伏材料的生产过程中，需要进行扩散工艺以及等离子增强化学气相沉积(PECVD工艺。其中扩散工艺主要用于对单晶硅片、多晶硅片进行掺杂，形成PN结；等离子增强化学气相沉积工艺主要用于促进薄膜生长，可用于氮化硅、氧化铝、本征硅、掺杂非晶硅等薄膜生长。不论是扩散工艺还是等离子增强化学气相沉积工艺都需要运用炉管。出于方便管理以及安全性等角度考虑，目前采用将炉管设置于炉门柜的形式，炉门柜兼具装载炉门结构以及为炉口排热排气的功能。由于随着太阳能光伏产业的发展，对于产能的要求也随之提高，单个炉门柜的炉管数量增加，结合炉门的开合结构，使得炉门柜的体积和质量都大大增加，这为设备运输、转移以及维护都带来了不便之处。此外随着单个炉门柜的炉管数量增加，单个炉管的空间相对减少，提高了炉管之间以及炉管与炉门柜之间干涉的要求。

发明内容

本实用新型的目的是解决现有技术的不足，提供，结构简单，使用方便。

一种分离式炉门柜结构，包括炉门固定机构、炉门柜架以及炉门开合装置；所述炉门固定机构与炉门柜架可拆式连接；所述炉门开合装置设置于炉门固定机构。

进一步的，所述炉门固定机构与炉门柜架的可拆式连接采用螺纹连接或者卡扣连接。

进一步的，所述炉门开合装置，包括支撑架、气缸固定架、前手臂、后手臂、炉门、开合气缸以及伸缩气缸；所述开合气缸设置于支撑架以及气缸固定架；所述伸缩气缸设置于气缸固定架；所述后手臂设置于伸缩气缸以及前手臂之间，后手臂与前手臂铰接；所述前手臂设置于气缸固定架，前手臂与气缸固定架铰接；所述炉门设置于前手臂。

进一步的，所述炉门开合装置通过支撑架上设置的连接孔与炉门固定机构连接，所述连接孔为腰形孔。

进一步的，所述炉门柜架的侧面设置有滤网。

进一步的，所述炉门柜架上的炉管背靠背设置，所述背靠背为两个炉管处于同一水平面，并且一左一右平行设置。

进一步的，所述炉门固定机构共两组，两组炉门固定机构镜像设置于炉门柜架的两侧。

进一步的，所述炉门柜架上至少能够承载一层炉管。

进一步的，所述炉门固定机构以及炉门柜架的底部设置万向轮以及支撑脚；所述支撑脚的长度能够进行调节。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型通过设置可拆式的炉门柜架以及炉门固定机构，能够将原本一体的装置拆分后进行转移，方便转移以及保证转移装置时候的安全；

本实用新型通过在炉门固定机构以及炉门柜架底部设置万向轮和支撑脚，并通过万向轮和支撑脚的转换进一步为装置的运输和定位提供便利；

本实用新型通过在支撑架上设置腰形连接孔对炉门开合装置的上下位置进行调整，更好地实现炉门和炉口的闭合。

附图说明

图1为本实用新型实施例一拆分后的正视图；

图2为本实用新型实施例一拆分后的立体图；

图3为本实用新型实施例一单边设置炉门固定机构的正视图；

图4为本实用新型实施例一单边设置炉门固定机构的立体图；