[实用新型]一种分离式炉门柜结构有效
| 申请号: | 202020625086.8 | 申请日: | 2020-04-23 |
| 公开(公告)号: | CN212412005U | 公开(公告)日: | 2021-01-26 |
| 发明(设计)人: | 郭玉雷;刘群;庞爱锁;林佳继;张武;林依婷 | 申请(专利权)人: | 深圳市拉普拉斯能源技术有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司: | 杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙) 33283 | 代理人: | 董世博 |
| 地址: | 518118 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 分离 炉门 结构 | ||
1.一种分离式炉门柜结构,其特征在于,包括炉门固定机构、炉门柜架以及炉门开合装置;所述炉门固定机构与炉门柜架可拆式连接;所述炉门开合装置设置于炉门固定机构。
2.根据权利要求1所述的一种分离式炉门柜结构,其特征在于,所述炉门固定机构与炉门柜架的可拆式连接采用螺纹连接或者卡扣连接。
3.根据权利要求1所述的一种分离式炉门柜结构,其特征在于,所述炉门开合装置,包括支撑架、气缸固定架、前手臂、后手臂、炉门、开合气缸以及伸缩气缸;所述开合气缸设置于支撑架以及气缸固定架;所述伸缩气缸设置于气缸固定架;所述后手臂设置于伸缩气缸以及前手臂之间,后手臂与前手臂铰接;所述前手臂设置于气缸固定架,前手臂与气缸固定架铰接;所述炉门设置于前手臂。
4.根据权利要求1所述的一种分离式炉门柜结构,其特征在于,所述炉门开合装置通过支撑架上设置的连接孔与炉门固定机构连接,所述连接孔为腰形孔。
5.根据权利要求1所述的一种分离式炉门柜结构,其特征在于,所述炉门柜架的侧面设置有滤网。
6.根据权利要求1所述的一种分离式炉门柜结构,其特征在于,所述炉门柜架上的炉管背靠背设置,所述背靠背为两个炉管处于同一水平面,并且一左一右平行设置。
7.根据权利要求6所述的一种分离式炉门柜结构,其特征在于,所述炉门固定机构共两组,两组炉门固定机构镜像设置于炉门柜架的两侧。
8.根据权利要求1所述的一种分离式炉门柜结构,其特征在于,所述炉门柜架上至少能够承载一层炉管。
9.根据权利要求1所述的一种分离式炉门柜结构,其特征在于,所述炉门固定机构以及炉门柜架的底部设置万向轮以及支撑脚;所述支撑脚的长度能够进行调节。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





