[实用新型]太阳能硅片双面检测调整平台有效
申请号: | 202020522607.7 | 申请日: | 2020-04-10 |
公开(公告)号: | CN211828689U | 公开(公告)日: | 2020-10-30 |
发明(设计)人: | 苏金财;陈春芙 | 申请(专利权)人: | 东莞市科隆威自动化设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;H01L21/68;F16M11/08;F16M11/18 |
代理公司: | 深圳市千纳专利代理有限公司 44218 | 代理人: | 刘晓敏 |
地址: | 523000 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 太阳能 硅片 双面 检测 调整 平台 | ||
1.一种太阳能硅片双面检测调整平台,其特征在于:其包括调整平台和设置在该调整平台上的双面检测装置,所述调整平台包括固定板、平台板和三组直线驱动组件,其中两组直线驱动组件并排纵向设置在固定板上,另一组直线驱动组件横向设置在固定板上,所述平台板上呈圆心对称设有三个轴柱,三个轴柱分别设置在与其相对应的直线驱动组件的驱动部件上;所述双面检测装置包括支架、下探针排架、上探针排架、升降伺服马达、滚珠螺杆和升降板,所述下探针排架固定在所述支架的正面,所述升降板对应下探针排架的上方位置通过直线滑轨组件设置在所述支架上,所述上探针排架设置在升降板上,且与所述上探针排架相对正,所述升降伺服马达设置在支架上,并通过所述滚珠螺杆驱动所述上探针排架相对所述下探针排架作靠拢或分开动作,所述上探针排架上设有方向朝下的上探针,所述下探针排架上设有方向朝上的下探针。
2.根据权利要求1所述的太阳能硅片双面检测调整平台,其特征在于:所述直线驱动组件包括调整伺服马达、滚珠丝杆、第一方向滑轨、第一方向滑座、第二方向滑轨和第二方向滑座,所述第一方向滑轨设置在固定板上,所述第一方向滑座活动设置在第一方向滑轨上,所述调整伺服马达设置在固定板上,并通过所述滚珠丝杆驱动所述第一方向滑座于第一方向滑轨上作往返运动,所述第二方向滑轨设置在第一方向滑座上,所述第二方向滑座活动设置在第二方向滑轨上形成所述直线驱动组件的驱动部件。
3.根据权利要求2所述的太阳能硅片双面检测调整平台,其特征在于:所述平台板上设有轴承座,所述轴柱设置在该轴承座的轴承上,该轴柱下端与所述第二方向滑座相固定。
4.根据权利要求1所述的太阳能硅片双面检测调整平台,其特征在于:所述双面检测装置包括支架、下探针排架、上探针排架、升降伺服马达、滚珠螺杆和升降板,所述下探针排架固定在所述支架的正面,所述升降板对应下探针排架的上方位置通过直线滑轨组件设置在所述支架上,所述上探针排架设置在升降板上,且与所述上探针排架相对正,所述升降伺服马达设置在支架上,并通过所述滚珠螺杆驱动所述上探针排架相对所述下探针排架作靠拢或分开动作,所述上探针排架上设有方向朝下的上探针,所述下探针排架上设有方向朝上的下探针。
5.根据权利要求4所述的太阳能硅片双面检测调整平台,其特征在于:所述下探针排架与支架的连接处设有下三角架。
6.根据权利要求4所述的太阳能硅片双面检测调整平台,其特征在于:所述上探针排架与升降板的连接处设有上三角架。
7.根据权利要求4所述的太阳能硅片双面检测调整平台,其特征在于:所述平台板上偏心设有用来安装所述双面检测装置的安装块,该安装块上设有定位柱。
8.根据权利要求7所述的太阳能硅片双面检测调整平台,其特征在于:所述支架的底面设有与所述定位柱相对应的定位孔。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造