[实用新型]折返式补锂设备

说明书

本实用新型涉及一种折返式补锂设备，包括补锂腔室及设于其内的放卷装置、收卷装置、导向轮组、至少两个靶材安装机构组及基片加热机构；导向轮组包括第一、第二导向轮，第一导向轮用于导向且使基片上第一侧表面的第一区域和第二区域相对设置，第二导向轮用于导向且使基片上第二侧表面的第三区域和第四区域相对设置；各组内的靶材安装机构的数量均为多个且沿基片的传输方向设置；其中有两个靶材安装机构组分别设于基片的第一区域和第二区域之间的位置、第三区域和第四区域之间的位置；基片加热机构包括加热安装机构及设于其上的加热片，加热安装机构设于各组内的相邻两个靶材安装机构之间，加热片用于对基片加热。

技术领域

本实用新型涉及电池生产制造技术领域，特别是涉及一种折返式补锂设备。

背景技术

近年来，锂离子电池因具有高比容量、高电压平台、长循环寿命等优点，广泛应用于便携式电子3C设备、电动汽车、空间技术、生物医学工程、物流、国防军工等领域。为了追求锂离子电池更高的能量密度和高倍率特性，人们进行了很多研究。

负极材料作为影响锂离子电池特性的关键因素之一，得到了广泛的研究。硅、氧化亚硅均是具有较高比容量的负极材料，然而在锂离子电池技术领域，为了进一步改善负极材料的性能，需要对负极材料进行补锂。目前常用的补锂方法有撒锂粉方法、锂带压延方法和PVD预补锂方法等，对应的设备的补锂效率及补锂良率低下，无法满足大规模生产的需求。

实用新型内容

基于此，有必要提供一种能够提高补锂效率和质量的折返式补锂设备。

一种折返式补锂设备，包括补锂腔室及设于所述补锂腔室内的放卷装置、收卷装置、导向轮组、至少两个靶材安装机构组及基片加热机构；

所述放卷装置，用于放卷待补锂的基片；

所述收卷装置，用于收卷补锂后的基片；

所述导向轮组，设于所述放卷装置与所述收卷装置之间，所述导向轮组包括第一导向轮及第二导向轮，所述第一导向轮用于对所述基片的传输方向导向且使所述基片上第一侧表面的第一区域和第二区域相对设置，所述第二导向轮用于对所述基片的传输方向导向且使所述基片上第二侧表面的第三区域和第四区域相对设置，其中所述第二侧表面与所述第一侧表面分别为所述基片的两个侧表面；

至少两个靶材安装机构组，设于所述放卷装置与所述收卷装置之间，各组内的所述靶材安装机构的数量均为多个且沿所述基片的传输方向设置；其中有两个靶材安装机构组分别设于所述基片的所述第一区域和所述第二区域之间的位置、所述第三区域和所述第四区域之间的位置，且该两个靶材安装机构组上用于安装双向溅射靶材；

所述基片加热机构，包括加热安装机构及设于所述加热安装机构上的加热片，所述加热安装机构设于各组内的相邻两个所述靶材安装机构之间，所述加热片用于对所述放卷装置与所述收卷装置之间的基片加热。

上述折返式补锂设备通过放卷装置放卷待补锂的基片，收卷装置收卷补锂后的基片，通过多个靶材安装机构的靶材对基片补锂，如此实现了基片的补锂工艺连续化，提高了补锂的效率。同时通过导向轮组导向使得基片的传输方向形成折返式，可以减小设备尺寸，且通过上述的两个靶材安装机构组上的双向溅射靶材实现对基片的两个侧表面同时进行补锂，进一步提高了补锂效率。进一步地，相邻两个靶材安装机构之间的加热片用于在镀膜同时对放卷装置与收卷装置之间的基片加热，可以使基片上的镀膜受热并保持在合适的温度，提高了基片的镀膜质量。

在其中一些实施例中，所述加热安装机构为多个，各组内的每相邻两个所述靶材安装机构之间均设有所述加热安装机构。

在其中一些实施例中，所述基片的两个侧表面均设有所述基片加热机构，设于所述基片的两个侧表面的基片加热机构一一对应设置。

在其中一些实施例中，所述基片的两个侧表面均设有所述基片加热机构，设于所述基片的两个侧表面的基片加热机构错开设置。