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- [实用新型]双向笼式载具移载装置-CN202320643611.2有效
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虞文韬;谢振岗;晏海燕;王来泉
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维达力实业(深圳)有限公司
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2023-03-27
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2023-08-25
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C23C14/50
- 本实用新型的实施例提供了一种双向笼式载具移载装置，涉及真空镀膜领域。旨在能够改善真空环境下送料效率低的问题。双向笼式载具移载装置包括移载腔室、移动架、货笼、升降机构、移动架横移机构以及货笼横移机构；移动架沿横向方向可移动地设置在移载腔室两端的开口之间，货笼沿横向方向可移动地设置在移动架上；升降机构用于驱动移动架升降；移动架横移机构用于驱动移动架横移；货笼横移机构包括依次传动连接的第一电机、第一磁流体密封轴、软轴以及货笼横移传动组件。第一电机安装在移载腔室外部，通过第一磁流体密封轴将动力传递到移载腔室内部，加上内部机械结构实现真空镀膜机的笼式载具的自动上下料需求。
- 双向笼式载具移载装置
- [实用新型]真空光纤引入装置和真空设备-CN202320698415.5有效
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虞文韬;晏海燕
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维达力实业(深圳)有限公司
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2023-03-27
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2023-08-25
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G02B6/38
- 本实用新型的实施例提供了一种真空光纤引入装置和真空设备，涉及真空连接器技术领域。光纤引入装置包括第一安装体、第二安装体和透光件，第一安装体设置有至少一个用于插接光纤的第一穿线孔，第二安装体设置有插接光纤的第二穿线孔。第一安装体可拆卸地设置于第二安装体，且第一穿线孔与第二穿线孔对应。透光件对应设置于第一穿线孔或第二穿线孔或第一安装体与第二安装体之间，可使第一穿线孔与第二穿线孔之间对应密封，且可让插接在第一穿线孔的光纤和插在第二穿线孔的光纤通过透光件相互连通。通过透光件既可以实现真空密封的隔断也可实现光纤之间的连通，从而可以降低成本，并且相对于反射或对射的方式相比，光信号的衰减更少。
- 真空光纤引入装置真空设备
- [发明专利]镀膜方法和设备-CN202310342304.5在审
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王伟;虞文韬;薛涛
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维达力实业(深圳)有限公司
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2023-03-27
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2023-06-30
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C23C14/56
- 本发明公开了一种镀膜设备和镀膜方法，通过设置能够连通或阻断的进出料腔和主工艺腔以及能够在进出料腔和主工艺腔之间转移的货笼，进行镀膜操作时，只需要在进出料腔和主工艺腔阻断的情况下单独对进出料腔开门放气即可实现单个货笼的放入或者取出，从而可以在其中一个主工艺腔进行镀膜的过程中，向另一个主工艺腔放入装载有待镀膜件的第一货笼或者是将装载有已镀膜件的第二货笼取出，以提高镀膜的连续性；此外，由于每次取放货笼仅仅对进出料腔进行抽真空或放气，正在镀膜的主工艺腔与进出料腔始终阻断，因此可以避免外界大气进入正在进行镀膜的主工艺腔内，从而防止镀膜件氧化以及对主工艺腔抽真空造成的不便，保证镀膜质量稳定性。
- 镀膜方法设备
- [发明专利]真空光纤引入装置和真空设备-CN202310350656.5在审
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虞文韬;晏海燕
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维达力实业(深圳)有限公司
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2023-03-27
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2023-06-23
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G02B6/38
- 本发明的实施例提供了一种真空光纤引入装置和真空设备，涉及真空连接器技术领域。光纤引入装置包括第一安装体、第二安装体和透光件，第一安装体设置有至少一个用于插接光纤的第一穿线孔，第二安装体设置有插接光纤的第二穿线孔。第一安装体可拆卸地设置于第二安装体，且第一穿线孔与第二穿线孔对应。透光件对应设置于第一穿线孔或第二穿线孔或第一安装体与第二安装体之间，可使第一穿线孔与第二穿线孔之间对应密封，且可让插接在第一穿线孔的光纤和插在第二穿线孔的光纤通过透光件相互连通。通过透光件既可以实现真空密封的隔断也可实现光纤之间的连通，从而可以降低成本，并且相对于反射或对射的方式相比，光信号的衰减更少。
- 真空光纤引入装置真空设备
- [发明专利]双向笼式载具移载装置-CN202310335788.0在审
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虞文韬;谢振岗;晏海燕;王来泉
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维达力实业(深圳)有限公司
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2023-03-27
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2023-06-02
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C23C14/50
- 本发明的实施例提供了一种双向笼式载具移载装置，涉及真空镀膜领域。旨在能够改善真空环境下送料效率低的问题。双向笼式载具移载装置包括移载腔室、移动架、货笼、升降机构、移动架横移机构以及货笼横移机构；移动架沿横向方向可移动地设置在移载腔室两端的开口之间，货笼沿横向方向可移动地设置在移动架上；升降机构用于驱动移动架升降；移动架横移机构用于驱动移动架横移；货笼横移机构包括依次传动连接的第一电机、第一磁流体密封轴、软轴以及货笼横移传动组件。第一电机安装在移载腔室外部，通过第一磁流体密封轴将动力传递到移载腔室内部，加上内部机械结构实现真空镀膜机的笼式载具的自动上下料需求。
- 双向笼式载具移载装置
- [实用新型]一种门轴装置-CN202220647561.0有效
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王来泉;虞文韬
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维达力实业（深圳）有限公司
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2022-03-24
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2022-10-11
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E05D3/02
- 本实用新型涉及一种门轴装置，包括固定座、连接板、安装板以及第一转轴，其中：固定座与门框连接，且包括第一板体及与第一板体第一侧中的至少一端连接的延伸臂；连接板的一侧位于延伸臂和第一侧中的另一端之间，且另一侧与安装板连接，安装板与门板连接；延伸臂与连接板的排布方向为第一方向，延伸臂设有沿第一方向贯穿其厚度的第一通孔，连接板设有沿第一方向贯穿其厚度的第二通孔，第二通孔与第一通孔至少部分正对，且第二通孔内安装有至少一个滚动轴承；第一转轴穿过第一通孔和滚动轴承将固定座与连接板固定为一体，且通过滚动轴承相对连接板转动，避免了转轴与固定座直接摩擦，固定座不会摩擦变形导致镀膜机大门密封不良，提高了生产效率。
- 一种装置
- [实用新型]旋转屏蔽罩及镀膜设备-CN202122806077.6有效
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晏海燕;虞文韬;薛涛;谢振岗
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维达力实业（深圳）有限公司
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2021-11-16
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2022-07-05
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C23C14/35
- 本实用新型涉及一种旋转屏蔽罩及镀膜设备，旋转屏蔽罩安装于镀膜设备上，对靶材进行遮挡，旋转屏蔽罩包括转动座、固定板、遮挡板及驱动机构，其中：固定板为一弧形板，固定板罩设于靶材，且与靶材之间具有间隙；遮挡板的一端固定于转动座上，遮挡板为一弧形板，遮挡板罩设于靶材，且与靶材之间具有间隙，遮挡板与固定板同轴；驱动机构与转动座传动连接，可驱动遮挡板沿其周向方向旋转；当遮挡板旋转至远离固定板的一侧时，遮挡板与固定板对靶材进行包裹，可对靶材进行清洗，该旋转屏蔽罩在镀膜设备工作状态下即可对靶材进行洗靶处理，显著提高产品的镀膜效率。
- 旋转屏蔽镀膜设备
- [发明专利]负极片及其制备方法、电池-CN202010238536.2有效
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张艳芳;谭志;虞文韬
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维达力实业（深圳）有限公司
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2020-03-30
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2021-10-22
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H01M4/1391
- 本发明涉及一种负极片及其制备方法、电池，该方法包括如下步骤：将含硅负极材料形成于集流体上制得基片；将基片进行预加热，并将基片在真空条件的氛围下采用真空溅射补锂；预加热的温度高于氛围温度且低于补锂的靶材的熔点，氛围的温度为30℃～130℃；在真空溅射中，基片上第一侧表面的第一第二区域相对设置，基片上第二侧表面的第三第四区域相对设置；靶材的数量为多个，且部分靶材同时对基片的第一第二区域进行镀膜，还有部分靶材同时对基片的第三第四区域进行镀膜；多个靶材包括第一、第二靶材，第一靶材选自金属锂、氧化锂、氮化锂或碳化锂中的一种，第二靶材选自硅、碳、氧化硅、碳化硅或氮化硅中的一种；第一第二靶材在基片传输方向交替间隔设置。
- 负极及其制备方法电池
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