[实用新型]折返式补锂设备

权利要求书

1.一种折返式补锂设备，其特征在于，包括补锂腔室及设于所述补锂腔室内的放卷装置、收卷装置、导向轮组、至少两个靶材安装机构组及基片加热机构；

所述放卷装置，用于放卷待补锂的基片；

所述收卷装置，用于收卷补锂后的基片；

所述导向轮组，设于所述放卷装置与所述收卷装置之间，所述导向轮组包括第一导向轮及第二导向轮，所述第一导向轮用于对所述基片的传输方向导向且使所述基片上第一侧表面的第一区域和第二区域相对设置，所述第二导向轮用于对所述基片的传输方向导向且使所述基片上第二侧表面的第三区域和第四区域相对设置，其中所述第二侧表面与所述第一侧表面分别为所述基片的两个侧表面；

至少两个靶材安装机构组，设于所述放卷装置与所述收卷装置之间，各组内的所述靶材安装机构的数量均为多个且沿所述基片的传输方向设置；其中有两个靶材安装机构组分别设于所述基片的所述第一区域和所述第二区域之间的位置、所述第三区域和所述第四区域之间的位置，且该两个靶材安装机构组上用于安装双向溅射靶材；及

所述基片加热机构，包括加热安装机构及设于所述加热安装机构上的加热片，所述加热安装机构设于各组内的相邻两个所述靶材安装机构之间，所述加热片用于对所述放卷装置与所述收卷装置之间的基片加热。

2.如权利要求1所述的折返式补锂设备，其特征在于，所述加热安装机构为多个，各组内的每相邻两个所述靶材安装机构之间均设有所述加热安装机构。

3.如权利要求2所述的折返式补锂设备，其特征在于，所述基片的两个侧表面均设有所述基片加热机构，设于所述基片的两个侧表面的基片加热机构一一对应设置。

4.如权利要求2所述的折返式补锂设备，其特征在于，所述基片的两个侧表面均设有所述基片加热机构，设于所述基片的两个侧表面的基片加热机构错开设置。

5.如权利要求1所述的折返式补锂设备，其特征在于，所述折返式补锂设备还包括阻隔机构及多个中频脉冲电源；

各组内相邻的所述靶材安装机构两两组成一对，每个靶材安装机构对上的两个靶材与一个所述中频脉冲电源连接；

所述阻隔机构设于所述补锂腔室内，且设于同一组内的相邻两对所述靶材安装机构之间。

6.如权利要求5所述的折返式补锂设备，其特征在于，各组内的所述靶材安装机构的数量均为三个及三个以上；

所述阻隔机构的数量为多个，各组内的任意相邻两对所述靶材安装机构之间均设有所述阻隔机构。

7.如权利要求6所述的折返式补锂设备，其特征在于，所述阻隔机构为隔板，所述隔板的两个侧表面分别与相邻的两个所述靶材安装机构上的两个靶材相对设置。

8.如权利要求1～7任一项所述的折返式补锂设备，其特征在于，所述折返式补锂设备还包括：

另外两个靶材安装机构组，其中有一个靶材安装机构组设于所述放卷装置与所述第一导向轮之间且位于所述基片的与所述第一区域相背的一侧，另一个靶材安装机构组设于所述第二导向轮与所述收卷装置之间且位于所述基片的与所述第四区域相背的一侧。

9.如权利要求1～7任一项所述的折返式补锂设备，其特征在于，所述折返式补锂设备还包括腔室加热装置，所述腔室加热装置用于对所述补锂腔室进行加热。

10.如权利要求1～4任一项所述的折返式补锂设备，其特征在于，所述折返式补锂设备还包括多个直流电源，每一所述直流电源与一个所述靶材安装机构上的一个靶材连接。