[实用新型]一种氮化镓生产用生长杆输送装置

权利要求书

1.一种氮化镓生产用生长杆输送装置，其特征在于，所述生长杆输送装置包括对接盘和固定杆，所述对接盘中部开有穿孔，其外侧中部连接有固定杆支撑装置，所述固定杆支撑装置包括支撑板和套管，所述套管连接于支撑板的顶端，所述套管的一端与对接盘连接，所述套管中固定有轴承，所述固定杆从对接盘的中部穿孔插入到套管中，所述固定杆从轴承的内圈穿过并固定，所述固定杆的一端从对接盘的中部穿孔露出，另一端穿过轴承后连接有传动齿轮，所述传动齿轮连接有动力电机。

2.根据权利要求1所述的氮化镓生产用生长杆输送装置，其特征在于，所述生长杆输送装置还包括滑道，所述支撑板下侧连接有平板，所述平板的底部设有滑块，所述滑块卡合在滑道上。

3.根据权利要求2所述的氮化镓生产用生长杆输送装置，其特征在于，所述对接盘的外侧中部焊接有短管，所述短管与套管同轴，二者直径相同，所述短管通过不锈钢波纹管与套管连接，所述短管的下侧连接有立板，所述立板底部连接有横板，所述横板底部也设有滑块与滑道连接。

4.根据权利要求2所述的氮化镓生产用生长杆输送装置，其特征在于，所述对接盘的内侧表面接近边缘处设有一圈凹槽，所述凹槽中嵌有O型密封圈。

5.根据权利要求3所述的氮化镓生产用生长杆输送装置，其特征在于，所述对接盘的内部设有空腔，所述短管为双层管壁，管壁之间为空腔且与对接盘的内部空腔连通，所述对接盘的外侧面及短管的外侧管壁上分别设有管口并连接有不锈钢管。

6.根据权利要求5所述的氮化镓生产用生长杆输送装置，其特征在于，所述套管为双层管壁，所述套管的外侧管壁的两端对称的设有接管连接两层管壁之间的空腔。

7.根据权利要求6所述的氮化镓生产用生长杆输送装置，其特征在于，所述立板与支撑板相对一侧的中部固定有一连接轴承，所述支撑板的中部开有内螺纹孔，所述内螺纹孔与连接轴承的内圈在同一轴心线上，所述连接轴承的内圈固定有丝杆，所述丝杆穿过支撑板中部的内螺纹孔，并与之螺纹连接，所述丝杆的端部连接有手轮。

8.根据权利要求2～6任一所述的氮化镓生产用生长杆输送装置，其特征在于，所述平板上设有螺栓穿孔并设有定位螺栓，相对应的所述平板下侧的滑道上设有一排定位孔。