[实用新型]一种抗高温形变的石墨舟片有效

申请号：	202020200675.1	申请日：	2020-02-24
公开（公告）号：	CN211208473U	公开（公告）日：	2020-08-07
发明（设计）人：	许琳媛	申请（专利权）人：	浙江华熔科技有限公司
主分类号：	H01L31/18	分类号：	H01L31/18;H01L21/673
代理公司：	浙江千克知识产权代理有限公司 33246	代理人：	沈涛
地址：	313000 浙江省湖***	国省代码：	浙江;33
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摘要：
搜索关键词：	一种高温形变石墨
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【权利要求书】：

1.一种抗高温形变的石墨舟片，包括舟片本体（1）、开设在舟片本体（1）上的若干间隔分布的硅片腔位（2）、设于所述硅片腔位（2）周边的若干卡点（3）以及用于进行舟片间串接的连接孔（4），其特征在于：所述舟片本体（1）前表面或/和后表面设有若干凹槽（5），所述凹槽（5）沿舟片本体（1）宽度方向贯通开设。

2.根据权利要求1所述的抗高温形变的石墨舟片，其特征在于：所述凹槽（5）设于每个硅片腔位（2）的一侧或两侧。

3.根据权利要求2所述的抗高温形变的石墨舟片，其特征在于：所述凹槽（5）于舟片本体（1）的前表面或/和后表面等间隔设置。

4.根据权利要求1～3任一所述的抗高温形变的石墨舟片，其特征在于：所述凹槽（5）在所述舟片本体（1）的前/后表面开设的数量不少于所述硅片腔位（2）的数量。

5.根据权利要求1所述的抗高温形变的石墨舟片，其特征在于：所述凹槽（5）长度与所述舟片本体（1）宽度相等。

6.根据权利要求1或5所述的抗高温形变的石墨舟片，其特征在于：所述凹槽（5）深度0.10～0.20mm，宽度0.20～0.35mm。

7.根据权利要求1所述的抗高温形变的石墨舟片，其特征在于：所述凹槽（5）的截面形状为矩形、三角形、U形或者弧形。

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