[实用新型]一种固定晶圆用静电吸盘

权利要求书

1.一种固定晶圆用静电吸盘，具有晶圆固定单元(10)；其特征在于：所述晶圆固定单元(10)包括底盘(1)以及设置在底盘(1)下端的电容盘(2)；所述底盘(1)和电容盘(2)通过辅助安装单元进行定位安装；所述电容盘(2)内设有冷却通道(28)，用于对其进行冷却；所述电容盘(2)的下端面固定连接有位移单元(30)；所述位移单元(30)的输出可贯穿晶圆固定单元(10)带动晶圆升降。

2.根据权利要求1所述的一种固定晶圆用静电吸盘，其特征在于：所述辅助安装单元包括底盘(1)上设置的两个凹槽(12)和电容盘(2)上设置的2个凸起(22)；所述凹槽(12)与凸起(22)位置相对应设置，且凹槽(12)与凸起(22)互补设置。

3.根据权利要求2所述的一种固定晶圆用静电吸盘，其特征在于：两个所述凹槽(12)的大小和/或形状不同。

4.根据权利要求1所述的一种固定晶圆用静电吸盘，其特征在于：所述底盘(1)的中央设有放置台(11)；所述放置台(11)上设置有贯穿底盘(1)的小孔洞(110)和大孔洞(111)；所述大孔洞(111)的数量为4，小孔洞(110)数量为多个；所述大孔洞(111)包括上部分和下部分，上部分和下部分连通。

5.根据权利要求4所述的一种固定晶圆用静电吸盘，其特征在于：所述大孔洞(111)的上部分孔径＜大孔洞(111)的下部分孔径，且在下部分孔径对应的孔洞垂直方向上设有通道(112)；所述大孔洞(111)下部分孔径对应的孔洞与通道(112)连通。

6.根据权利要求1或5所述的一种固定晶圆用静电吸盘，其特征在于：所述底盘(1)的下端面上还设置有第一凹槽(113)以及与该第一凹槽(113)连通的U形孔(114)；所述U形孔(114)贯穿底盘(1)。

7.根据权利要求1所述的一种固定晶圆用静电吸盘，其特征在于：所述电容盘(2)上设置有贯穿盘体的安装孔(21)和第一连接孔(00)；所述安装孔(21)有4个，其位置与底盘(1)上设置的大孔洞(111)位置相对应；所述电容盘(2)的上端面设置有环形槽(24)；所述环形槽(24)径向延伸方向上设有辅助槽(25)；所述辅助槽(25)与环形槽(24)连通。

8.根据权利要求1或7所述的一种固定晶圆用静电吸盘，其特征在于：所述电容盘(2)下端面还设有冷却水进口(26)和冷却水出口(27)；所述冷却通道(28)由冷却水进口(26)处经内周延伸至外周，再延伸至内周至冷却水出口(27)处。

9.根据权利要求1所述的一种固定晶圆用静电吸盘，其特征在于：所述电容盘(2)下端面还设置有背氦连接孔；所述背氦连接孔设置在一条直径上；所述背氦连接孔包括第二连接孔(01)和第三连接孔(02)。

10.根据权利要求8所述的一种固定晶圆用静电吸盘，其特征在于：所述位移单元(30)包括密封隔离波纹管装置(31)和升降装置(32)；所述升降装置(32)通过连接器(33)与密封隔离波纹管装置(31)连接；所述密封隔离波纹管装置(31)的输出轴穿过安装孔(21)。