[实用新型]一种捡晶机侧挡板托盘

说明书

本实用新型公开了半导体生产制造领域内的一种捡晶机侧挡板托盘，包括捡晶机壳，捡晶机壳前侧设置有开口，捡晶机壳内部设置有操作台，所述捡晶机壳包括上侧挡板和下侧挡板，所述开口位于上侧挡板和下侧挡板之间，所述下侧挡板外侧安装有储物盒，所述储物盒包括相互平行的前侧板和后侧板，所述前侧板和后侧板之间分别设置有左侧板和右侧板，储物盒的各侧板底部水平设置有底板，底板上方的各侧板之间围成储物槽，所述后侧板与下侧挡板相贴靠设置，后侧板上边缘一体设置有弧形主挂钩，主挂钩的长度与后侧板的长度相等，下侧挡板顶部配合伸入主挂钩与后侧板之间的凹槽内。本实用新型能够通过安装储物盒来放置tray盘，减少维修时间。

技术领域

本实用新型属于半导体生产制造领域，特别涉及一种捡晶机侧挡板托盘。

背景技术

晶圆切割后会形成多个IC晶粒，捡晶机机械手可以将晶粒抓取后快速实现进行转移，捡晶机最后可将IC晶粒拾取到tray盘内，每个tray盘可以装一定数量的IC晶粒，当一个tray盘被装满后，需要更换新的空tray盘继续捡晶。

现有技术中，捡晶机机台内部的放置平台用于放置tray盘和tray box，方便作业过程中作业员及时上tray盘和收料，同时也产生了一定的安全隐患，tray盘容易翻落入机台内部，造成丝杆卡住电机导致过载；机台内部摆放的tray盘和tray box会影响人员收料，易造成翻盘等异常；另外放置tray盘和tray box的对应区域为tray盘模组运动区域需要拆卸维修，目前此区域挡板的固定使用螺纹固定，导致拆卸维修比较麻烦。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种捡晶机侧挡板托盘，能够通过安装储物盒来放置tray盘和tray box，减少维修时间，避免工作人员正常收料时翻盘。

本实用新型的目的是这样实现的：一种捡晶机侧挡板托盘，包括捡晶机壳，捡晶机壳前侧设置有开口，捡晶机壳内部设置有操作台，所述捡晶机壳包括上下对应设置的上侧挡板和下侧挡板，所述开口位于上侧挡板和下侧挡板之间，所述下侧挡板外侧安装有储物盒，所述储物盒包括相互平行的前侧板和后侧板，所述前侧板和后侧板之间分别设置有左侧板和右侧板，左侧板和右侧板相互平行，储物盒的各侧板底部水平设置有底板，底板上方的各侧板之间围成储物槽，所述后侧板与下侧挡板相贴靠设置，后侧板上边缘一体设置有弧形主挂钩，主挂钩的长度与后侧板的长度相等，下侧挡板顶部配合伸入主挂钩与后侧板之间的凹槽内。

本实用新型在捡晶机壳的下侧挡板上安装储物盒，储物槽用于放置tray盘和traybox，储物盒在安装时，将主挂钩从上往下放置，使得下侧挡板顶部伸入凹槽内，储物盒挂靠在下侧挡板顶部，安装方便，需要拆卸并对捡晶机内部进行维修时，只需要将储物盒向上提起，拆卸灵活方便；直接将收料的tray盘和tray box放置在储物槽内，避免发生翻盘现象。与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：安装方便，避免tray盘翻盘，拆卸维修更加方便。

作为本实用新型的进一步改进，所述后侧板靠近下侧挡板的一面沿长度方向间隔设置有若干副挂钩，副挂钩呈L形，下侧挡板上对应副挂钩开设有若干挂钩槽，每个副挂钩均伸入对应挂钩槽内，副挂钩水平部贴靠在对应挂钩槽的水平槽壁上，副挂钩竖直部贴靠在下侧挡板内侧。通过下方的多个副挂钩与上方的主挂钩配合，确保储物盒更加牢靠地安装在下侧挡板上。

作为本实用新型的进一步改进，所述后侧板位于副挂钩的上方沿长度方向间隔开设有若干螺纹孔，每个螺纹孔内均设置有与下侧挡板相连接的紧固件。通过紧固件可以确保储物盒与捡晶机壳牢固地固定连接。

作为本实用新型的进一步改进，所述后侧板的高度大于前侧板的高度，左侧板和右侧板对称设置且均呈梯形，左侧板的梯形上底边长度与前侧板的高度相等，右侧板的梯形下底边长度小于后侧板的高度。

作为本实用新型的进一步改进，所述前侧板上设置有U形抓握把手。抓握把手便于移动储物盒。