[发明专利]一种采用低温介入的半导体材料粉碎装置及方法有效
申请号: | 202011620132.6 | 申请日: | 2020-12-30 |
公开(公告)号: | CN112827610B | 公开(公告)日: | 2022-07-26 |
发明(设计)人: | 吴银雪 | 申请(专利权)人: | 东和半导体设备研究开发(苏州)有限公司 |
主分类号: | B02C19/18 | 分类号: | B02C19/18;B02C1/00;B02C23/00 |
代理公司: | 泉州市兴博知识产权代理事务所(普通合伙) 35238 | 代理人: | 易敏 |
地址: | 215000 江苏省苏州市中国(江苏)自*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 采用 低温 介入 半导体材料 粉碎 装置 方法 | ||
1.一种采用低温介入的半导体材料粉碎装置,包括从左到右并排设置的第一底架(1)和第二底架(2),其特征在于:所述第二底架(2)顶部的右侧设置有一次粉碎机构(3),所述第一底架(1)内壁的底部设置有低温介入机构(4),所述第一底架(1)内壁上方的两侧均转动连接有转轴(5),两个所述转轴(5)的外表面传动连接有传动带(6),所述转轴(5)的一端贯穿第一底架(1)并延伸至第一底架(1)的外部,所述第一底架(1)的一侧固定连接有第一电机(7),所述第一电机(7)的输出端与转轴(5)的一端通过联轴器固定连接,所述传动带(6)的右侧设置有二次粉碎机构(8),所述第一底架(1)顶部的左侧设置有细料机构(9);
所述一次粉碎机构(3)包括固定在第二底架(2)顶部的座架(31),所述座架(31)的顶部固定连接有粉碎箱(32),且粉碎箱(32)顶部的两侧均连通固定有进料管(33),所述粉碎箱(32)的内部滑动连接有压板(34),所述压板(34)的顶部固定连接有滑板(35),所述滑板(35)的顶部贯穿粉碎箱(32)并延伸至粉碎箱(32)的外部,所述粉碎箱(32)顶部的一侧固定连接有竖板(36),所述竖板(36)的表面固定连接有安装板(37),所述安装板(37)的一侧固定连接有滑轨(38),且滑轨(38)的内表面滑动连接有滑座(39),所述滑座(39)的表面转动连接有转动板(310),所述竖板(36)的表面固定连接有固定座(311),所述固定座(311)的表面固定连接有第二电机(312),所述第二电机(312)的输出端通过联轴器固定连接有转杆(313),所述转杆(313)的一端贯穿固定座(311)并延伸至固定座(311)的外部,所述转杆(313)的一端固定连接有转盘(314),且转盘(314)的底部与转动板(310)的顶部转动连接,所述第二底架(2)的顶部且位于座架(31)的正下方设置有收集盒(315);
所述低温介入机构(4)包括固定在第一底架(1)内壁底部的低温箱(41),所述低温箱(41)的顶部贯穿固定有冷凝器(42),所述第一底架(1)的表面固定连接有控制箱(43),且控制箱(43)与冷凝器(42)之间通过导线(44)电性连接;
所述二次粉碎机构(8)包括固定在第一底架(1)右侧的方箱(81),所述方箱(81)靠近传动带(6)的一侧开设有通槽(82),所述方箱(81)远离传动带(6)的一侧连通固定有出料斗(83),所述第二底架(2)的顶部且位于出料斗(83)的正下方固定连接有收集箱(84),所述方箱(81)的底部且位于通槽(82)的一侧连通固定有连接斗(85),所述第二底架(2)的顶部固定连接有固定箱(86),且固定箱(86)的顶部与连接斗(85)的底部连通固定,所述固定箱(86)的内部滑动连接有挤压盒(87),所述挤压盒(87)的一侧贯穿固定箱(86)并延伸至固定箱(86)的外部,所述挤压盒(87)的一侧固定连接有第三电机(88),所述第三电机(88)的输出端通过联轴器固定连接有螺纹杆(89),所述螺纹杆(89)的一端贯穿挤压盒(87)并延伸至挤压盒(87)的内部,所述螺纹杆(89)的外表面螺纹连接有螺纹套(810),所述挤压盒(87)内部滑动连接有施力板(811),且施力板(811)的一侧与螺纹套(810)的一端转动连接,所述螺纹套(810)的外表面固定连接有限位板(812),且限位板(812)的外表面与挤压盒(87)的内表面滑动连接。
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