[发明专利]一种GaN基混合式三维成像与测距装置有效
申请号: | 202011473391.0 | 申请日: | 2020-12-15 |
公开(公告)号: | CN112490257B | 公开(公告)日: | 2021-11-09 |
发明(设计)人: | 雷建明 | 申请(专利权)人: | 南京工业职业技术大学 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146;H01L25/16 |
代理公司: | 芜湖思诚知识产权代理有限公司 34138 | 代理人: | 项磊 |
地址: | 210001 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 gan 混合式 三维 成像 测距 装置 | ||
本发明公开一种GaN基混合式三维成像与测距装置,涉及测距成像领域,包括处理器、晶圆片、硅晶片、GaN紫外发光二极管、GaN紫外日盲APD、GaN红外探测管和PCB板,解决了激光测距仪均不能成像、激光刺眼、红外成像误判率高且为二维成像、CCD成像成本高且不易单片集成等问题。其包括使用单片集成的GaN紫外发光二极管阵列,和GaN紫外日盲APD、GaN红外探测器非致冷焦平面阵列,可同时实现红外和紫外的成像和测距。其实现的特点是采用三种单片集成的GaN器件的混合工作方式,在无需额外激光源的情况下,实现在极暗的环境下完成高质量的成像与测距,且抗干扰能力强、人体无察觉、成本适中、小尺寸、低损耗。
技术领域
本发明涉及测距成像领域,具体涉及一种GaN基混合式三维成像与测距装置。
背景技术
目前,激光测距成为主流,而常见的激光测距仪均不能成像。激光的光强很强,如果照射到人的眼睛,会导致人体不识甚至短暂致盲,不适合在居家等环境中使用,且需要一个独立的激光发射源提供光源以及计数、计时的基点值。另一方面,红外成像仪作为成像方式的热门,成本低廉却不能用来测距,且红外成像仪最大的缺点是环境中发热的物体很多,容易造成相互干扰,形成误判。而采用CCD等的成像方式成本较高,且不利用于向单片集成方向扩展发展。
紫外日盲APD探测器采用了200-280nm的紫外波段,其电流增益可达1.6x105,响应速度快。而一般激光的波长均处在人眼实际可见的光波长范围内(312-1050nm)。紫外日盲APD探测器发出的光我们肉眼看不见,抗干扰能力极强,且能够在极暗环境下进行拍照,非常适合用来替代激光测距,使用户完全不察觉,还能够协助红外技术制作成像与人体识别。另外,GaN材料通过对InGaN和AlGaN中In和Al的组份,形成不同的红外探测二极管和紫外日盲APD二极管,可以将红外成像阵列和紫外日盲测距阵列整合在一起,做在同一个晶圆上,使其集成度提高,且相互不干扰、成本适中,从而实现高质量、人体无察觉的成像与测距功能。
发明内容
本发明的目的在于提供一种GaN基混合式三维成像与测距装置,该装置解决了激光测距仪均不能成像、激光刺眼、红外成像误判率高且为二维成像、CCD成像成本高且不易单片集成等问题。其包括使用单片集成的GaN紫外发光二极管阵列,和GaN紫外日盲APD、GaN红外探测器非致冷焦平面阵列,可同时实现红外和紫外的成像和测距。其实现的特点是采用三种单片集成的GaN器件的混合工作方式,在无需额外激光源的情况下,实现在极暗的环境下完成高质量的成像与测距,且抗干扰能力强、人体无察觉、成本适中、小尺寸、低损耗。
一种GaN基混合式三维成像与测距装置,包括处理器、晶圆片、硅晶片、GaN紫外发光二极管、GaN紫外日盲APD、GaN红外探测管和PCB板,所述GaN紫外发光二极管、GaN紫外日盲APD和GaN红外探测管各设有若干个,并对应阵列在晶圆片上构成单片集成一,所述硅晶片设有APD读出电路、红外读出电路和发光控制及计数电路,构成单片集成二,所述单片集成一设在单片集成二上方,所述单片集成二连接在PCB板的上表面,所述处理器设在PCB板的下表面。
优选的,所述单片集成一通过In柱与单片集成二互联。
优选的,所述晶圆片的衬底采用SiC、GaN、Si或者蓝宝石制成。
优选的,所述硅晶片的衬底采用单晶Si制成。
优选的,所述APD读出电路和发光控制及计数电路分别控制GaN紫外日盲APD和GaN紫外发光二极管工作于高频脉冲状态,且二者同步工作。
优选的,所述红外读出电路通过GaN红外探测管联合紫外辅助成像、测距与物体识别,由处理器根据两者的数据构建三维环境图。
优选的,通过局部测绘法以及数据差值法,GaN紫外日盲APD重点测绘红外图像的不同颜色深度的发光边界,进而对数据进行修正、判断以及三维重构。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
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H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的