[发明专利]微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风

说明书

本发明提供一种微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风，其中，微型麦克风防尘装置包括载体以及设置在载体上的防尘网；防尘网包括支撑部和过滤部，过滤部通过支撑部与载体相连；其中，支撑部和载体构成微型麦克风防尘装置的支撑区，过滤部构成微型麦克风防尘装置的过滤区；其中，支撑区包括拾取区和结合区，结合区由支撑部以及支撑部与载体上下位置对应的区域构成，拾取区由载体的剩余区域构成；并且，拾取区的横截面积大于结合区的横截面积。利用上述发明能够有效地抑制微型麦克风防尘装置的载体和防尘网在后期的加工组装时出现翘曲。

技术领域

本发明涉及微型麦克风防尘技术领域，更为具体地，涉及一种微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风。

背景技术

为防止微型麦克风内部的芯片受到外界粉末、颗粒物、水分的影响，从而降低微型麦克风的使用寿命，通常情况下，都需要在微型麦克风内部与外界的连通处(如声孔)设计微型麦克风防尘装置，通过微型麦克风防尘装置将微型麦克风芯片与外界环境分隔开，起到保护微型麦克风芯片的作用。

然而，传统的微型麦克风防尘装置通常包括网部和载体部，两部分由不同的材料构成的。由于载体部与网部之间存在热膨胀系数差或热应力，因此会导致两者产生变形的差异，在后续安装基板等热处理时，存在网部翘曲的问题。网部的翘曲会在需要平坦性的工序时(如叠置安装另外的器件芯片时)和需要密封性的工序中严重影响工作效率。

具体地，图1示出了现有的微型麦克风防尘装置的主视剖面结构，由图1可知，在传统的微型麦克风防尘装置中，型麦克风防尘装置由支撑区域和过滤区域两部分组成，支撑区域包括载体部和设置在载体部上方的网部的连接区，过滤区域为网部的过滤区。在实际加工过程中，由于支撑区域的载体部和网部的连接区的接触面较大，且两者的热膨胀系数差或热应较大，因此，两者之间的会产生应力梯度，从而使微型麦克风防尘装置的载体和防尘网在后期的加工和组装时出现翘曲的问题。

基于以上技术问题，亟需一种能够有效抑制微型麦克风防尘装置在加工时出现翘曲的方法。

发明内容

鉴于上述问题，本发明的目的是提供一种微型麦克风防尘装置，以解决现有的微型麦克风防尘装置在加工组装时易出现翘曲的问题。

本发明实施例中提供的微型麦克风防尘装置，包括载体以及设置在所述载体上的防尘网；其特征在于，所述防尘网包括支撑部和过滤部，所述过滤部通过所述支撑部与所述载体相连；其中，所述支撑部和所述载体构成所述微型麦克风防尘装置的支撑区，所述过滤部构成所述微型麦克风防尘装置的过滤区；其中，所述支撑区包括拾取区和结合区，所述结合区由所述支撑部以及所述支撑部与所述载体上下位置对应的区域构成，所述拾取区由所述载体的剩余区域构成；并且，所述拾取区的横截面积大于所述结合区的横截面积。

此外，优选的方案是，在所述载体上方一体成型设置有台阶区，所述支撑部架设在所述台阶区上并与所述台阶区固定连接；其中，

所述台阶区、所述支撑部以及与所述台阶区上下位置对应的所述载体的区域构成所述结合区，所述载体的剩余区域构成所述拾取区。

此外，优选的方案是，所述支撑部包括连接部和缓冲部；其中，

所述连接部固定架设在所述台阶区上，所述缓冲部延伸至所述台阶区外并与过滤部相连。

此外，优选的方案是，在所述载体内开设有凹槽区，所述支撑部限位在所述凹槽区内并与所述凹槽区固定连接；其中，

所述凹槽区、所述支撑部以及与所述凹槽区上下位置对应的所述载体的区域构成所述结合区，所述载体的剩余区域构成所述拾取区。

此外，优选的方案是，所述支撑部包括连接部和缓冲部；其中，

所述连接部限位固定在所述凹槽区内，所述缓冲部延伸至所述凹槽区外并与过滤部相连。

此外，优选的方案是，所述过滤部呈圆形结构；并且，