[发明专利]微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风

权利要求书

1.一种微型麦克风防尘装置，其特征在于，包括载体以及设置在所述载体上的防尘网；其特征在于，所述防尘网包括支撑部和过滤部，所述过滤部通过所述支撑部与所述载体相连；其中，

所述支撑部和所述载体构成所述微型麦克风防尘装置的支撑区，所述过滤部构成所述微型麦克风防尘装置的过滤区；其中，

所述支撑区包括拾取区和结合区，所述结合区由所述支撑部以及所述支撑部与所述载体上下位置对应的区域构成，所述拾取区由所述载体的剩余区域构成；并且，

所述拾取区的横截面积大于所述结合区的横截面积。

2.如权利要求1所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，

在所述载体的上方一体成型设置有台阶区，所述支撑部架设在所述台阶区上并与所述台阶区固定连接；其中，

所述台阶区、所述支撑部以及与所述台阶区上下位置对应的所述载体的区域构成所述结合区，所述载体的剩余区域构成所述拾取区。

3.如权利要求2所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，

所述支撑部包括连接部和缓冲部；其中，

所述连接部固定架设在所述台阶区上，所述缓冲部延伸至所述台阶区外并与所述过滤部相连。

4.如权利要求1所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，

在所述载体内开设有凹槽区，所述支撑部限位在所述凹槽区内并与所述凹槽区固定连接；其中，

所述凹槽区、所述支撑部以及与所述凹槽区上下位置对应的所述载体的区域构成所述结合区，所述载体的剩余区域构成所述拾取区。

5.如权利要求4所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，

所述支撑部包括连接部和缓冲部；其中，

所述连接部限位固定在所述凹槽区内，所述缓冲部延伸至所述凹槽区外并与过滤部相连。

6.如权利要求1所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，

所述过滤部呈圆形结构；并且，

在所述载体内形成有与所述过滤部上下位置对应的通孔，所述通孔为与所述过滤部上下位置对应的圆柱形结构。

7.如权利要求6所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，

所述载体为中空的长方体或圆柱体结构。

8.如权利要求1所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，

在所述过滤部内设置有上凹区和下凸区。

9.一种MEMS麦克风，其特征在于，包括基板、外壳、MEMS芯片以及如权利要求1至8中任意一项所述的微型麦克风防尘装置；其中，

所述基板与所述外壳之间形成封装结构，所述MEMS芯片设置在所述封装结构内的基板上；并且，

在所述基板上开设有与所述MEMS芯片上下位置对应的声孔，所述微型麦克风防尘装置设置在所述声孔外或设置在所述声孔与所述MEMS芯片之间。

10.如权利要求9所述的MEMS麦克风，其特征在于，

所述微型麦克风防尘装置通过所述载体设置在所述声孔与所述MEMS芯片之间；并且，所述防尘网设置在所述声孔和所述MEMS芯片之间。