[发明专利]微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风

权利要求书

1.一种微型麦克风防尘装置，包括支撑载体和设置在所述支撑载体上的防尘膜；其特征在于，

在所述支撑载体上和/或所述防尘膜上设置有至少一个压力均衡孔；

所述压力均衡孔的设置方向与所述防尘膜的设置方向相平行。

2.如权利要求1所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，

在所述支撑载体的中心位置设置有通孔；

所述支撑载体包括至少一层结构层，所述压力均衡孔设置在所述支撑载体的任意一个结构层中，并与所述通孔导通。

3.如权利要求1所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，

所述支撑载体包括顶层、底层和中间层，所述压力均衡孔设置在所述中间层并贯穿所述中间层设置。

4.如权利要求1所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，

所述支撑载体包括底层和顶层，所述压力均衡孔设置在所述底层或所述顶层上并贯穿所述底层或所述顶层设置。

5.如权利要求1所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，

所述压力均衡孔设置有至少两个；

所述压力均衡孔关于所述支撑载体的中心呈对称分布。

6.如权利要求1所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，

当所述压力均衡孔设置在所述支撑载体上时，所述压力均衡孔与所述支撑载体一体制作形成，或者在所述支撑载体上切割形成；

当所述压力均衡孔设置在所述防尘膜上时，所述压力均衡孔与所述防尘膜一体制作形成。

7.如权利要求1所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，

当所述压力均衡孔同时设置在所述支撑载体与所述防尘膜上时，所述压力均衡孔在所述支撑载体与所述防尘膜之间导通。

8.如权利要求1所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，

所述防尘膜包括固定部和设置在所述固定部内部的过滤网；

所述压力均衡孔的孔径与所述过滤网的网孔孔径相适配。

9.如权利要求8所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，

当所述压力均衡孔设置在所述防尘膜上时，所述压力均衡孔设置在所述固定部上；并且，

所述压力均衡孔的长度不大于所述固定部的长度。

10.一种MEMS麦克风，其特征在于，包括基板、与所述基板形成封装结构的壳体、收容在所述壳体内的MEMS芯片，以及如权利要求1至9任一项所述的微型麦克风防尘装置；其中，

所述微型麦克风防尘装置设置在所述基板的开孔处，所述MEMS芯片设置在所述微型麦克风防尘装置上；

所述MEMS芯片将所述封装结构分割为前腔和后腔，所述前腔和所述后腔通过所述微型麦克风防尘装置上的压力均衡孔导通。