[发明专利]压电致动器的制造方法

说明书

本发明提供一种金属氧化物层难以剥离的压电致动器的制造方法。该压电致动器的制造方法包括形成振动板的工序、在所述振动板上形成第一电极的工序、在所述第一电极上形成压电体层的工序、在所述压电体层上形成第二电极的工序，形成所述振动板的工序具有单一层形成工序，该单一层形成工序包括利用气相法来形成包含锆的金属层的工序和烧成所述金属层而形成金属氧化物层的工序，重复所述单一层形成工序，来形成层压所述金属氧化物层而成的所述振动板，所述金属氧化物层的厚度小于200nm。

技术领域

本发明涉及一种压电致动器的制造方法。

背景技术

已知一种通过压电元件而使振动板变形的压电元件致动器。这样的压电致动器被用于例如液体喷出头等。

例如，在专利文献1中记载了具备由厚度1μm的二氧化硅膜和厚度200nm的氧化锆膜组成的振动板的压电致动器。

但是，在专利文献1中，由于氧化锆膜厚为200nm，因此在暴露于高温高湿的环境中时，存在氧化锆膜从二氧化硅膜上剥落的情况。

专利文献1：日本特开2005-168172号公报

发明内容

本发明所涉及的压电致动器的制造方法的一个方式，包括：

形成振动板的工序；

在所述振动板上形成第一电极的工序；

在所述第一电极上形成压电体层的工序；

在所述压电体层上形成第二电极的工序，

形成所述振动板的工序具有单一层形成工序，

该单一层形成工序包括利用气相法来形成包含锆的金属层的工序和烧成所述金属层而形成金属氧化物层的工序，

重复所述单一层形成工序，来形成层压所述金属氧化物层而成的所述振动板，

所述金属氧化物层的厚度小于200nm。

附图说明

图1为示意性地表示本实施方式所涉及的压电致动器的剖视图。

图2为示意性地表示本实施方式所涉及的压电致动器的金属氧化物层的剖视图。

图3为用于对本实施方式所涉及的压电致动器的制造方法进行说明的流程图。

图4为示意性地表示本实施方式所涉及的压电致动器的制造工序的剖视图。

图5为示意性地表示本实施方式所涉及的压电致动器的制造工序的剖视图。

图6为示意性地表示本实施方式所涉及的液体喷出头的分解立体图。

图7为示意性地表示本实施方式所涉及的液体喷出头的俯视图。

图8为示意性地表示本实施方式所涉及的液体喷出头的剖视图。

图9为示意性地表示本实施方式所涉及的打印机的立体图。

图10为表示实验例的评价结果的表。

图11为表示实验例的XRD测量结果的图形。

图12为表示实验例的XRD测量结果的图形。

具体实施方式

以下，利用附图，对本发明的优选的实施方式详细地进行说明。另外，在下文中所说明的实施方式并不对权利要求书中所记载的本发明的内容不当地进行限定。此外，在下文中所说明的结构并不一定全部都是本发明的必要构成要件。

1.压电致动器