[发明专利]压电致动器的制造方法在审
| 申请号： | 202011338648.1 | 申请日： | 2020-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN112993145A | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 古池晴信;四十物孝宪;中山雅夫;高部本规;角浩二;板山泰裕;清水稔弘 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H01L41/22 | 分类号： | H01L41/22;H01L41/29;H01L41/314 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 权太白 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压电 致动器 制造 方法 | ||
1.一种压电致动器的制造方法，包括：
形成振动板的工序；
在所述振动板上形成第一电极的工序；
在所述第一电极上形成压电体层的工序；
在所述压电体层上形成第二电极的工序，
形成所述振动板的工序具有单一层形成工序，
该单一层形成工序包括利用气相法来形成包含锆的金属层的工序和烧成所述金属层而形成金属氧化物层的工序，
重复所述单一层形成工序，来形成层压所述金属氧化物层而成的所述振动板，
所述金属氧化物层的厚度小于200nm。
2.如权利要求1所述的压电致动器的制造方法，其中，
所述金属氧化物层的厚度为50nm以上。
3.如权利要求1或2所述的压电致动器的制造方法，其中，
所述金属氧化物层的厚度为150nm以下。
4.如权利要求1所述的压电致动器的制造方法，其中，
所述金属氧化物层具有柱状结晶结构。
5.如权利要求1所述的压电致动器的制造方法，其中，
所述金属氧化物层为氧化锆层，
在所述金属氧化物层的X射线衍射中，归属于(-211)面的峰值的强度相对于归属于(-111)面的峰值的强度之比为0.36以下。
6.如权利要求5所述的压电致动器的制造方法，其中，
归属于所述(-111)面的峰值的位置为28.1°以上且28.5°以下，
归属于所述(-211)面的峰值的位置为40.4°以上且41.4°以下。
7.如权利要求5或6所述的压电致动器的制造方法，其中，
归属于(111)面的峰值的强度大于归属于所述(-211)面的峰值的强度，
归属于所述(111)面的峰值的位置为29.5°以上且30.5°以下。
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