[发明专利]一种敷有金属钛-铜层的金刚石/铜复合材料热沉及其制备方法在审
| 申请号： | 202011337089.2 | 申请日： | 2020-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN114540765A | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 张习敏;郭宏;谢忠南;黄树晖;解浩峰;黄国杰;李增德 | 申请（专利权）人： | 有研工程技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/16 | 分类号： | C23C14/16;C23C14/24;C23C14/35;C23C2/04;C23C28/02;H01L23/373 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 刘徐红 |
| 地址： | 101407 北京市怀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 金属 金刚石 复合材料 及其 制备 方法 | ||
1.一种敷有金属钛-铜层的金刚石/铜复合材料热沉，其特征在于：包括金刚石/铜复合材料热沉，所述热沉的表面从内到外依次设置钛层和铜层，钛层和铜层的厚度在数微米至数百微米之间。
2.根据权利要求1所述的敷有金属钛-铜层的金刚石/铜复合材料热沉，其特征在于：所述的钛层厚度为1-5微米，铜层厚度大于10微米。
3.根据权利要求2所述的敷有金属钛-铜层的金刚石/铜复合材料热沉，其特征在于：所述的铜层厚度为40-110微米。
4.根据权利要求3所述的敷有金属钛-铜层的金刚石/铜复合材料热沉，其特征在于：所述的铜层为金属铜或铜合金层。
5.根据权利要求4所述的敷有金属钛-铜层的金刚石/铜复合材料热沉，其特征在于：所述的铜合金为Cu-Ti、Cu-Cr或Cu-B合金。
6.根据权利要求1所述的敷有金属钛-铜层的金刚石/铜复合材料热沉，其特征在于：所述的钛层通过真空微蒸发镀或磁控溅射工艺镀覆。
7.根据权利要求1-6所述的敷有金属钛-铜层的金刚石/铜复合材料热沉的制备方法，包括如下步骤：
(1)在金刚石/铜复合材料热沉表面通过真空微蒸发镀或磁控溅射工艺镀覆钛层；
(2)将步骤(1)中的热沉浸入铜或铜合金熔液中，静止一段时间后，从铜或铜合金熔液中移出；
(3)移出金属熔液的热沉垂直放置，自然冷却，即制备得到表面涂有钛-铜的金刚石/铜复合材料热沉片。
8.根据权利要求7所述的敷有金属钛-铜层的金刚石/铜复合材料热沉的制备方法，其特征在于：制备钛层和铜层的工艺在真空或惰性气体保护环境中进行。
9.根据权利要求7所述的敷有金属钛-铜层的金刚石/铜复合材料热沉的制备方法，其特征在于：所述的铜或铜合金熔液的温度为1100-1300℃。
10.根据权利要求7所述的敷有金属钛-铜层的金刚石/铜复合材料热沉的制备方法，其特征在于：所述的热沉在铜或铜合金熔液中浸没静止的时间为20-40min。
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