[发明专利]电镀装置和电镀方法

权利要求书

1.一电镀方法，其特征在于，所述电镀方法包括如下步骤：

(a)电连接处于一电镀液中的一镀层金属于一电源的阳极，和电连接处于所述电镀液中的一工件于所述电源的阴极；

(b)保持所述电镀液处于一振荡状态；以及

(c)形成一镀层于所述工件的表面。

2.根据权利要求1所述的电镀方法，其中在所述步骤(b)中，朝向所述电镀液产生一超声波，利用所述超声波振动所述电镀液的方式使得所述电镀液处于所述振荡状态。

3.根据权利要求2所述的电镀方法，其中所述超声波在平行于所述工件的方向上振动所述电镀液。

4.根据权利要求2所述的电镀方法，其中所述超声波在垂直于所述工件的方向上振动所述电镀液。

5.根据权利要求2所述的电镀方法，其中所述超声波在平行于所述工件的方向和垂直于所述工件的方向上同时振动所述电镀液。

6.根据权利要求2至5任一所述的电镀方法，其中在所述步骤(b)中，设置产生所述超声波的所述超声波发生器的工作功率被处于700W-1200W，并产生20KHz-800KHz的所述超声波。

7.根据权利要求1至5任一所述的电镀方法，其中在所述步骤(b)中，通过阴极运动的方式保持所述电镀液处于所述振荡状态。

8.根据权利要求6所述的电镀方法，其中在所述步骤(b)中，通过阴极运动的方式保持所述电镀液处于所述振荡状态。

9.根据权利要求7所述的电镀方法，其中在上述步骤中，保持阴极的振动频率被保持于5Hz至20Hz，和保持阴极的振动幅度处于1mm至5mm。

10.根据权利要求8所述的电镀方法，其中在上述步骤中，保持阴极的振动频率被保持于5Hz至20Hz，和保持阴极的振动幅度处于1mm至5mm。

11.根据权利要求9所述的电镀方法，其中在上述步骤中，驱动一活动杆绕一支撑座旋转，并带动被连接于所述活动杆一端的所述工件在所述电镀液中运动。

12.根据权利要求10所述的电镀方法，其中在上述步骤中，驱动一活动杆绕一支撑座旋转，并带动被连接于所述活动杆一端的所述工件在所述电镀液中运动。

13.根据权利要求11所述的电镀方法，其中在上述步骤中，间隔地通电于一电感线圈，所述电感线圈间隔地吸引所述活动杆，并驱动所述活动杆绕所述支撑座转动。

14.根据权利要求12所述的电镀方法，其中在上述步骤中，间隔地通电于一电感线圈，所述电感线圈间隔地吸引所述活动杆，并驱动所述活动杆绕所述支撑座转动。

15.根据权利要求13所述的电镀方法，其中在上述步骤中，在所述电感线圈被通电时，所述电感线圈和所述活动杆相互靠近并挤压一弹性元件，在所述电感线圈被断电后，所述电感线圈对所述活动杆的吸引力消失，所述弹性元件释放弹性势能，驱使所述活动杆绕所述支撑座来回转动。

16.根据权利要求14所述的电镀方法，其中在上述步骤中，在所述电感线圈被通电时，所述电感线圈和所述活动杆相互靠近并挤压一弹性元件，在所述电感线圈被断电后，所述电感线圈对所述活动杆的吸引力消失，所述弹性元件释放弹性势能，驱使所述活动杆绕所述支撑座来回转动。

17.根据权利要求9所述的电镀方法，其中在上述步骤中，驱动一活动杆相对所述支撑座滑动，并驱使被连接于所述活动杆一端的所述工件在所述电镀液中运动。