[发明专利]一种自动修正和补偿芯片偏移和角度的系统及方法

权利要求书

1.一种自动修正和补偿芯片偏移和角度的系统，其特征在于：包括有接收部分、计算系统以及发出部分；该计算系统连接接收部分，该发出部分连接计算系统，该接收部分接收PBI检测装置的实际检测结果，实际检测结构包括偏移量和角度值，并把实际检测结果继续传给计算系统，计算系统根据实际检测结果来计算并给出修正或者补偿值，该发出部分是在得到修正或者补偿值后传输指令给芯片键合系统。

2.如权利要求1所述的一种自动修正和补偿芯片偏移和角度的系统，其特征在于：所述PBI检测装置为检测摄像头。

3.一种自动修正和补偿芯片偏移和角度的方法，其特征在于：采用如权利要求1或3所述的一种自动修正和补偿芯片偏移和角度的系统，包括有以下步骤：

（1）芯片倒装键合：芯片倒装机通过超声波、键合力和热的共同作用下把芯片和基板的I/O键合在一起；

（2）PBI检测：在芯片和基板键合后，通过PBI检测装置的检测计算出芯片在基板上的偏移量和角度值，并把实际值发给接收部分；

（3）在接收部分接收到实际检测结果传输给计算系统；

（4）计算系统通过实际值，理想值和偏移值计算出补偿值，计算公式如下：实际值-理想值=偏移值，理想值为0，偏移值有三种情况：正、负或0；

（5）在计算系统计算出补偿值后，由发出部分发出补偿值指令给芯片键合系统；

（6）芯片键合系统接收补偿指令后，先进行参数调整然后再继续开始键合作业。