[发明专利]一种机台污染监测装置及加工设备在审
| 申请号： | 202011248081.9 | 申请日： | 2020-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN112271151A | 公开（公告）日： | 2021-01-26 |
| 发明（设计）人： | 蔡明堂;黄宽信 | 申请（专利权）人： | 泉芯集成电路制造(济南)有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 张洋 |
| 地址： | 250000 山东省济南市*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 机台 污染监测 装置 加工 设备 | ||
1.一种机台污染监测装置，其特征在于，包括多个监测模组和分别与所述监测模组电连接的控制器，多个所述监测模组分别被配置于加工设备的多个操作机台内，用于采集每个所述操作机台内的污染物信息，所述控制器用于接收每个所述监测模组采集的所述污染物信息，并根据每个所述操作机台的所述污染物信息判定每个所述操作机台是否处于污染状态；所述机台污染监测装置还包括传送单元，所述传送单元与所述监测模组连接，用于驱动所述监测模组在所述操作机台内运动；所述传送单元为机械手，所述机械手和所述控制器电连接。
2.根据权利要求1所述的机台污染监测装置，其特征在于，所述监测模组为拍摄单元。
3.根据权利要求1所述的机台污染监测装置，其特征在于，所述机台污染监测装置还包括暂存器，所述暂存器分别与所述监测模组和所述控制器电连接，用于接收所述监测模组检测到的所述污染物信息，并供所述控制器提取所述污染物信息。
4.根据权利要求1所述的机台污染监测装置，其特征在于，所述机台污染监测装置还包括报警器，所述报警器与所述控制器电连接，所述报警器用于当所述污染物信息超出阈值时响应所述控制器的控制信号发出警报。
5.根据权利要求1所述的机台污染监测装置，其特征在于，所述机台污染监测装置还包括与所述控制器电连接的显示器，所述显示器用于显示所述机台内的污染物信息。
6.一种加工设备，其特征在于，包括多个操作机台和如权利要求1至5中任意一项所述的机台污染监测装置，所述机台污染监测装置的多个监测模组一一对应设于多个所述操作机台内。
7.根据权利要求6所述的加工设备，其特征在于，所述操作机台内设有充电装置，所述监测模组与所述充电装置电连接。
8.根据权利要求7所述的加工设备，其特征在于，所述监测模组与所述充电装置采用无线通讯连接。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于泉芯集成电路制造(济南)有限公司，未经泉芯集成电路制造(济南)有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202011248081.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
