[发明专利]具有压力阻尼的振梁加速度计

权利要求书

1.一种加速度计设备，所述设备包括：

支撑基部；

谐振器，所述谐振器包括锚定部分和释放部分，其中所述谐振器的所述锚定部分机械地连接到所述支撑基部；

检验质量块，所述检验质量块机械地连接到所述谐振器的所述释放部分，所述检验质量块包括一个或多个阻尼梳，其中所述阻尼梳：

包括可移动梳指和锚定梳指，

其中所述一个或多个阻尼梳的所述锚定梳指机械地连接到所述支撑基部，

其中所述一个或多个阻尼梳的所述可移动梳指机械地连接到所述检验质量块，并且

其中所述一个或多个阻尼梳的所述可移动梳指和所述一个或多个阻尼梳的所述锚定梳指之间的间距被配置为针对所述检验质量块提供空气阻尼；和

压力腔，其中所述压力腔包含所述支撑基部、所述谐振器、所述检验质量块和所述一个或多个阻尼梳。

2.根据权利要求1所述的设备，其中：

所述检验质量块限定平面；

所述一个或多个阻尼梳的所述可移动梳指位于所述检验质量块的所述平面中；

所述一个或多个阻尼梳的所述锚定梳指位于所述检验质量块的所述平面中；

所述可移动梳指与所述锚定梳指在所述检验质量块的所述限定平面中重叠在所述一个或多个阻尼梳的重叠部分中；

所述重叠部分包括气隙；

所述重叠部分具有总线性距离，其中所述总线性距离为第一长度和第二长度的总和，其中：

所述第一长度为第一多个梳指中的第一梳指的第一边缘与第二多个梳指中的第一梳指的第一边缘重叠的线性距离，

所述第二长度为所述第一多个梳指中的所述第一梳指的第二边缘与所述第二多个梳指中的第二梳指的第一边缘重叠的线性距离，并且

所述第一多个梳指中的所述第一梳指邻近所述第二多个梳指中的所述第一梳指和所述第二梳指。

3.根据权利要求2所述的设备，其中所述谐振器的所述锚定部分和所述释放部分包括重叠谐振器梳指，并且其中所述阻尼梳的所述总线性距离大于所述重叠谐振器梳指的总线性距离。

4.根据权利要求1所述的设备，还包括耦合到悬垂检验质量块的支撑挠曲件，其中所述支撑挠曲件被配置为约束所述悬垂检验质量块相对于所述第二平面的平面外运动。

5.根据权利要求1所述的设备，

其中所述谐振器是第一谐振器，所述设备还包括至少第二谐振器，其中所述第一谐振器和所述第二谐振器中的每一者以相应的驱动谐振频率振动，

其中所述检验质量块的移动致使所述第一谐振器接收张力并且致使所述第二谐振器接收压缩力，并且

其中所述第一谐振器和所述第二谐振器提供差分频率测量。

6.一种方法，包括：

由处理电路从振梁加速度计(VBA)接收指示第一谐振器梁的频率和第二谐振器梁的频率的一个或多个电信号，其中所述VBA包括：

支撑基部；

谐振器，所述谐振器包括锚定部分和释放部分，其中所述谐振器的所述锚定部分机械地连接到所述支撑基部；

检验质量块，所述检验质量块机械地连接到所述谐振器的所述释放部分，所述检验质量块包括一个或多个阻尼梳，其中所述阻尼梳：

包括可移动梳指和锚定梳指，

其中所述一个或多个阻尼梳的所述锚定梳指机械地连接到所述支撑基部，

其中所述一个或多个阻尼梳的所述可移动梳指机械地连接到所述检验质量块，并且

其中所述一个或多个阻尼梳的所述可移动梳指和所述一个或多个阻尼梳的所述锚定梳指之间的间距被配置为针对所述检验质量块提供空气阻尼；和

压力腔，其中所述压力腔包含所述支撑基部、所述谐振器、所述检验质量块和所述一个或多个阻尼梳；

由所述处理电路并基于所述一个或多个电信号来确定所述第一谐振器梁的所述频率和所述第二谐振器梁的所述频率；以及

由所述处理电路并基于所述第一谐振器梁的所述频率和所述第二谐振器梁的所述频率来计算所述VBA的加速度。

7.根据权利要求6所述的方法，其中所述谐振器的所述锚定部分和所述释放部分包括重叠谐振器梳指，并且其中所述阻尼梳的所述总线性距离大于所述重叠谐振器梳指的总线性距离。