[发明专利]一种PTH化学沉铜自动设备线及其生产工艺

权利要求书

1.一种PTH化学沉铜自动设备线，其特征在于：包括槽体（400）、单臂式自动行车一（401）、单臂式自动行车二（402）、震动抖动单元（403）、烘干炉单元（404）、摇摆单元（405）、脱脂单元（406）、微蚀单元（407）、酸洗单元（408）、预浸单元（409）、活化单元（410）、还原单元一（411）、还原单元二（412）、化学铜单元（413）、纯水单元一（414）和上下料单元（415），所述纯水单元一（414）、化学铜单元（413）、还原单元二（412）、还原单元一（411）、活化单元（410）、预浸单元（409）、酸洗单元（408）、微蚀单元（407）和脱脂单元（406）按照化学沉铜的工序依次设置在槽体（400）上，并且纯水单元一（414）、化学铜单元（413）、还原单元二（412）、还原单元一（411）、活化单元（410）、预浸单元（409）、酸洗单元（408）、微蚀单元（407）和脱脂单元（406）呈一列设置，所述单臂式自动行车一（401）和单臂式自动行车二（402）分别位于槽体（400）的两端，所述单臂式自动行车二（402）位于脱脂单元（406）的一侧，所述单臂式自动行车一（401）位于纯水单元一（414）的一侧，所述上下料单元（415）位于纯水单元一（414）远离化学铜单元（413）的一侧，所述震动抖动单元（403）沿脱脂单元（406）、微蚀单元（407）、酸洗单元（408）、预浸单元（409）、活化单元（410）、还原单元一（411）、还原单元二（412）、化学铜单元（413）和纯水单元一（414）的方向依次设置，所述烘干炉单元（404）位于纯水单元一（414）和上下料单元（415）之间，所述摇摆单元（405）位于脱脂单元（406）远离微蚀单元（407）的一侧，并且摇摆单元（405）和震动抖动单元（403）连接。

2.根据权利要求1所述的PTH化学沉铜自动设备线，其特征在于：所述脱脂单元（406）包括脱脂槽（416）和热水洗槽一（417）。

3.根据权利要求1所述的PTH化学沉铜自动设备线，其特征在于：所述微蚀单元（407）包括纯水洗槽一（418）、纯水洗槽二（419）、微蚀槽（420）和纯水洗槽三（421）。

4.根据权利要求1所述的PTH化学沉铜自动设备线，其特征在于：所述酸洗单元（408）包括纯水洗槽四（422）、酸洗槽（423）、纯水洗槽五（424）和纯水洗槽六（425）。

5.根据权利要求1所述的PTH化学沉铜自动设备线，其特征在于：所述活化单元（410）包括活化槽（426）、纯水洗槽七（427）和纯水洗槽八（428）。

6.根据权利要求1所述的PTH化学沉铜自动设备线，其特征在于：所述还原单元一（411）包括还原槽（429）、纯水洗槽九（430）和纯水洗槽十（431）。

7.根据权利要求1所述的PTH化学沉铜自动设备线，其特征在于：所述还原单元二（412）为速化槽（432）。

8.根据权利要求1所述的PTH化学沉铜自动设备线，其特征在于：所述化学铜单元（413）包括化学铜槽一（433）和化学铜槽二（434）。

9.根据权利要求1所述的PTH化学沉铜自动设备线，其特征在于：所述纯水单元一（414）包括纯水洗槽十一（435）、纯水洗槽十二（436）、纯水洗槽十三（437）和纯热水洗槽二（438）。

10.一种PTH化学沉铜自动设备线的生产工艺，其特征在于：包括以下步骤：上料→热纯水水洗→纯水水洗→纯水水洗→纯水水洗→化学沉铜→化学沉铜→速化→纯水水洗→纯水水洗→还原→纯水水洗→纯水水洗→活化→预浸→纯水水洗→纯水水洗→酸洗→纯水水洗→纯水水洗→微蚀→纯水水洗→纯水水洗→热水水洗→脱脂→烘干→烘干→下料。