[发明专利]基于MEMS的压电式仿生耳蜗纤毛感受器及其加工方法

权利要求书

1.一种基于MEMS的压电式仿生耳蜗纤毛感受器，其特征在于：包括基底和聚丙烯纤毛（1），所述基底包括金属铜上电极（2）、聚偏氟乙烯薄膜（3）与金属铝下电极（4），所述聚偏氟乙烯薄膜（3）位于金属铜上电极（2）与金属铝下电极（4）之间，所述金属铜上电极（2）、聚偏氟乙烯薄膜（3）与金属铝下电极（4）均固定连接且外围呈方框状，所述外围的方框内部其中一对相对的边之间为波浪形状的纤毛固定梁（5），所述聚丙烯纤毛（1）垂直固定于纤毛固定梁（5）的中心处。

2.根据权利要求1所述的一种基于MEMS的压电式仿生耳蜗纤毛感受器，其特征在于：所述金属铜上电极（2）的厚度为1-15um。

3.根据权利要求1所述的一种基于MEMS的压电式仿生耳蜗纤毛感受器，其特征在于：所述聚偏氟乙烯薄膜（3）的厚度为10-100um，长宽为800um*800um。

4.根据权利要求1所述的一种基于MEMS的压电式仿生耳蜗纤毛感受器，其特征在于：所述金属铝下电极（4）的厚度为1-15um。

5.根据权利要求1所述的一种基于MEMS的压电式仿生耳蜗纤毛感受器，其特征在于：所述聚丙烯纤毛（1）的高度为600um-950um，半径为25-50um。

6.根据权利要求1所述的一种基于MEMS的压电式仿生耳蜗纤毛感受器，其特征在于：所述纤毛固定梁（5）的宽度在80um-120um之间，纵向位移长度为600um。

7.权利要求1所述的一种基于MEMS的压电式仿生耳蜗纤毛感受器的加工方法，其特征在于：包括如下步骤：

①将表面带有金属层的聚偏氟乙烯薄膜（3）贴在四寸片上，光刻，厚胶；

②腐蚀聚偏氟乙烯薄膜（3）上表面的金属，接下来采用等离子体刻蚀聚偏氟乙烯薄膜（3）到金属铝下电极（4）；

③聚偏氟乙烯薄膜（3）上部的光刻胶结余，以在接下来的腐蚀过程中保护金属铜上电极（2）；

④在金属铝下电极（4）的背面沾蓝膜，用以保护金属铝下电极（4）；

⑤最后腐蚀金属铜上电极（2）形成波浪形的纤毛固定梁（5）的形状，去除光刻胶和蓝膜。