[发明专利]一种芯片金线检测方法有效
申请号: | 202011093434.2 | 申请日: | 2020-10-13 |
公开(公告)号: | CN112233994B | 公开(公告)日: | 2021-08-24 |
发明(设计)人: | 吕波 | 申请(专利权)人: | 珠海市科迪电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;H01L21/68 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 卢泽明 |
地址: | 519000 广东省珠海市斗门*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片 检测 方法 | ||
本发明提供一种芯片金线检测方法,逐个采集测试tray盘上芯片的图像,将采集图像上传至处理控制模块;处理控制模块确定采集图像的第一信息,第一信息包括芯片标志点坐标以及金线采集角度、金线采集长度、金线采集高度、金线采集数量;将第一信息与预设在处理控制模块内的目标信息进行对比,判断芯片金线是否合格,若检测合格,继续检测下一个芯片;若检测不合格,记录此芯片对应的不良品坐标位置,提取对应芯片并放置在不良品tray盘;提取良品tray盘上的合格芯片补偿至不良品坐标位置。本发明整个检测过程无需人工操作处理,自动检测自动分拣自动补偿,满足批量检测的生产需求,生产效率快,且通过多视图的信息对比,提高了检测精度和检测质量。
技术领域
本发明属于电子产品测量流程技术领域,尤其涉及一种芯片金线检测方法。
背景技术
芯片金线检测在芯片的生产制造过程中起到非常重要的作用,在芯片金线检测过程中,需要对整板tray盘上的芯片进行检测,包括金线弯曲角度、金线引伸长度、金线离基准面高度和金线数量,以判断芯片金线是否存在封装位置偏差大、断线、漏打线、错打线或碰线等质量问题,这些质量异常均会影响芯片后续的使用,降低生产质量,存在安全隐患。
目前对于芯片金线的检测基本采用人工检测,或者使用单个芯片检测的方式,生产效率低,无法满足芯片批量生产的检测需求,且检测精度不高,无法实现全方位检测的目的,影响检测质量和生产效率。
发明内容
本发明的目的在于克服上述现有技术存在的不足,提供一种芯片金线检测方法,解决了现有技术中无法对芯片实现批量检测的问题,克服了检测精度低、检测质量差、生产效率慢的问题。
为了实现上述目的,本发明提供一种芯片金线检测方法,包括以下步骤:
步骤S1:逐个采集测试tray盘上芯片的图像,将采集图像上传至处理控制模块;
步骤S2:处理控制模块确定采集图像的第一信息,所述第一信息包括芯片标志点坐标以及金线采集角度、金线采集长度、金线采集高度、金线采集数量;
步骤S3:将所述第一信息与预设在处理控制模块内的目标信息进行对比,判断芯片金线是否合格,若检测合格,继续检测下一个芯片;若检测不合格,记录此芯片对应的不良品坐标位置,提取对应芯片并放置在不良品tray盘;
步骤S4:提取良品tray盘上的合格芯片补偿至所述不良品坐标位置;
其中,在步骤S1中,在采集芯片图像时,采用3D线激光扫描仪对芯片进行图像采集,并得到正视图像、俯视图像和左视图像;
所述正视图像为正视角下芯片的图像,通过处理正视图像得到第一正视信息,所述第一正视信息包括芯片正视标志点坐标以及金线正视采集角度、金线正视采集长度、金线正视采集高度;
所述俯视图像为俯视角下芯片的图像,通过处理俯视图像得到第一俯视信息,所述第一俯视信息包括芯片俯视标志点坐标以及金线俯视采集角度、金线俯视采集长度、金线俯视采集高度、金线俯视数量信息;
所述左视图像为左视角下芯片的图像,通过处理左视图像得到第一左视信息,所述第一左视信息包括芯片左视标志点坐标以及金线左视采集角度、金线左视采集长度、金线左视采集高度、金线左视数量信息。
进一步地,在步骤S3中,所述目标信息包括目标定位坐标、金线目标角度、金线目标长度、金线目标高度和金线目标数量,根据所述目标信息确定目标面积图像,根据所述第一信息确定采集面积图像,将采集图像的标志点坐标与目标信息中的目标定位坐标重合,对比所述采集面积图像和目标面积图像的重合度信息,所述重合度信息包括金线弯曲角度偏移信息、金线引伸长度差距信息、金线离基准面高度信息和金线数量信息。
进一步地,在对比金线弯曲角度偏移信息中,计算金线采集角度和金线目标角度的角度偏移量△X,若角度偏移量△X大于预设角度偏移阈值,则金线角度重合度不合格。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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