[发明专利]一种芯片金线检测方法有效

专利信息
申请号: 202011093434.2 申请日: 2020-10-13
公开(公告)号: CN112233994B 公开(公告)日: 2021-08-24
发明(设计)人: 吕波 申请(专利权)人: 珠海市科迪电子科技有限公司
主分类号: H01L21/66 分类号: H01L21/66;H01L21/68
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 卢泽明
地址: 519000 广东省珠海市斗门*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 芯片 检测 方法
【说明书】:

发明提供一种芯片金线检测方法,逐个采集测试tray盘上芯片的图像,将采集图像上传至处理控制模块;处理控制模块确定采集图像的第一信息,第一信息包括芯片标志点坐标以及金线采集角度、金线采集长度、金线采集高度、金线采集数量;将第一信息与预设在处理控制模块内的目标信息进行对比,判断芯片金线是否合格,若检测合格,继续检测下一个芯片;若检测不合格,记录此芯片对应的不良品坐标位置,提取对应芯片并放置在不良品tray盘;提取良品tray盘上的合格芯片补偿至不良品坐标位置。本发明整个检测过程无需人工操作处理,自动检测自动分拣自动补偿,满足批量检测的生产需求,生产效率快,且通过多视图的信息对比,提高了检测精度和检测质量。

技术领域

本发明属于电子产品测量流程技术领域,尤其涉及一种芯片金线检测方法。

背景技术

芯片金线检测在芯片的生产制造过程中起到非常重要的作用,在芯片金线检测过程中,需要对整板tray盘上的芯片进行检测,包括金线弯曲角度、金线引伸长度、金线离基准面高度和金线数量,以判断芯片金线是否存在封装位置偏差大、断线、漏打线、错打线或碰线等质量问题,这些质量异常均会影响芯片后续的使用,降低生产质量,存在安全隐患。

目前对于芯片金线的检测基本采用人工检测,或者使用单个芯片检测的方式,生产效率低,无法满足芯片批量生产的检测需求,且检测精度不高,无法实现全方位检测的目的,影响检测质量和生产效率。

发明内容

本发明的目的在于克服上述现有技术存在的不足,提供一种芯片金线检测方法,解决了现有技术中无法对芯片实现批量检测的问题,克服了检测精度低、检测质量差、生产效率慢的问题。

为了实现上述目的,本发明提供一种芯片金线检测方法,包括以下步骤:

步骤S1:逐个采集测试tray盘上芯片的图像,将采集图像上传至处理控制模块;

步骤S2:处理控制模块确定采集图像的第一信息,所述第一信息包括芯片标志点坐标以及金线采集角度、金线采集长度、金线采集高度、金线采集数量;

步骤S3:将所述第一信息与预设在处理控制模块内的目标信息进行对比,判断芯片金线是否合格,若检测合格,继续检测下一个芯片;若检测不合格,记录此芯片对应的不良品坐标位置,提取对应芯片并放置在不良品tray盘;

步骤S4:提取良品tray盘上的合格芯片补偿至所述不良品坐标位置;

其中,在步骤S1中,在采集芯片图像时,采用3D线激光扫描仪对芯片进行图像采集,并得到正视图像、俯视图像和左视图像;

所述正视图像为正视角下芯片的图像,通过处理正视图像得到第一正视信息,所述第一正视信息包括芯片正视标志点坐标以及金线正视采集角度、金线正视采集长度、金线正视采集高度;

所述俯视图像为俯视角下芯片的图像,通过处理俯视图像得到第一俯视信息,所述第一俯视信息包括芯片俯视标志点坐标以及金线俯视采集角度、金线俯视采集长度、金线俯视采集高度、金线俯视数量信息;

所述左视图像为左视角下芯片的图像,通过处理左视图像得到第一左视信息,所述第一左视信息包括芯片左视标志点坐标以及金线左视采集角度、金线左视采集长度、金线左视采集高度、金线左视数量信息。

进一步地,在步骤S3中,所述目标信息包括目标定位坐标、金线目标角度、金线目标长度、金线目标高度和金线目标数量,根据所述目标信息确定目标面积图像,根据所述第一信息确定采集面积图像,将采集图像的标志点坐标与目标信息中的目标定位坐标重合,对比所述采集面积图像和目标面积图像的重合度信息,所述重合度信息包括金线弯曲角度偏移信息、金线引伸长度差距信息、金线离基准面高度信息和金线数量信息。

进一步地,在对比金线弯曲角度偏移信息中,计算金线采集角度和金线目标角度的角度偏移量△X,若角度偏移量△X大于预设角度偏移阈值,则金线角度重合度不合格。

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