[发明专利]成膜装置、成膜方法及电子器件的制造方法

说明书

本发明涉及成膜装置、成膜方法及电子器件的制造方法。提供用于有效地利用成膜装置的旋转接头所使用的液体的技术。成膜装置具备被成膜物支承部和旋转接头，旋转接头具有与被成膜物支承部连接并旋转的旋转部和设置于旋转部的周围并固定于成膜室的固定部，固定部具有被供给液体的供给口和排出液体的排出口，旋转部具有将从供给口供给的液体向被成膜物支承部供给的供给流路、将从被成膜物支承部排出的液体向排出口排出的排出流路，按供给口、供给流路、被成膜物支承部、排出流路及排出口的顺序构成供液体流动的液体流路，具有：具有将从排出口排出的液体供给到供给口的循环路径、设置于固定部的排放口以及将从排放口排出的排放液供给到供给口的路径。

技术领域

本发明涉及成膜装置、成膜方法及电子器件的制造方法。

背景技术

近年来，作为显示器的一种，具备有机EL元件的有机EL装置引人关注，所述有机EL元件使用了有机材料的电致发光。在该有机EL装置的制造时，有如下工序：在具有成膜室的成膜装置中，使金属电极材料或有机材料等成膜材料附着在基板上而进行成膜。

在成膜装置的成膜室内，通过将收容在容器内的蒸镀材料加热或溅射到靶上，从而使成膜材料飞翔并附着于基板而在基板上形成膜。此时，出于形成均匀的膜等目的，有时在成膜室内一边使基板旋转一边进行成膜。另外，在成膜室内成为高温的情况下，有时预先于在成膜室内支承基板的构件的内部设置供冷却液进入的空间，通过使冷却液在该空间与成膜室的外部之间循环，从而使基板冷却并防止成膜材料的质量劣化。

在专利文献1(日本特开2006-336034号公报)中，公开了在真空的成膜室内一边使基板旋转一边成膜的装置。

在该装置中，以使成膜室的内部与外部贯通的方式配置有旋转体。在旋转体的成膜室内部侧的端部，设置有在内部形成有流体路径的基板支架，能够伴随着旋转体的旋转使基板旋转。另外，旋转体配置在成膜室的外部，由相对于成膜室固定的外框构件(框体)支承。在外框构件上设置有冷却液的供给口和排出口，并与配置在成膜室外部的恒温槽连接。另外，在外框构件与旋转体之间，在与供给口和排出口分别对应的位置设置有环状的流体路径。

在专利文献1中，利用这种旋转接头结构，从而即使旋转体旋转，也能够进行冷却液在成膜室外部的恒温槽与基板支架内部的流体路径之间的循环。即，从恒温槽供给到外框构件的供给口的冷却液经由环状流体路径流入旋转体内部的供给路径，到达基板支架内的流体路径。接着，冷却液从基板支架内的流体路径流入旋转体内部的排出路径，经由环状流体路径从外框构件的排出口排出后，再次到达恒温槽。这样，由于被温度调节的冷却液始终在基板支架内的流体路径中循环，所以能够维持成膜优选的基板温度。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2006-336034号公报

发明内容

发明要解决的课题

但是，在这种成膜装置中，在进行成膜期间，基本上需要始终使冷却液循环。结果，存在如下问题：在旋转接头中的各构件的连接部分处(特别是从旋转力起作用的旋转体与框体之间)，冷却液会漏出。

即使在旋转体与框体之间配置磁密封件或O形环等密封构件，也会某种程度地产生该冷却液的泄漏。在使用氟类惰性液体等比较昂贵的材料作为冷却液的情况下，由漏出导致的损失会给成本方面带来较大的影响。

本发明鉴于该课题而做出，其目的在于提供用于有效地利用成膜装置的旋转接头所使用的液体的技术。

用于解决课题的手段

本发明采用以下结构。即，

一种成膜装置，其在成膜室中对被成膜物进行成膜，所述成膜装置具备：

被成膜物支承部，所述被成膜物支承部支承被成膜物；以及