[发明专利]成膜装置、成膜方法及电子器件的制造方法

权利要求书

1.一种成膜装置，其在成膜室中对被成膜物进行成膜，所述成膜装置具备：

被成膜物支承部，所述被成膜物支承部支承被成膜物；以及

旋转接头，所述旋转接头具有与所述被成膜物支承部连接并旋转的旋转部、和设置于所述旋转部的周围并固定于所述成膜室的固定部，

所述固定部具有被供给液体的供给口和排出液体的排出口，

所述旋转部具有将从所述供给口供给的液体向所述被成膜物支承部供给的供给流路、和将从所述被成膜物支承部排出的液体向所述排出口排出的排出流路，

按所述供给口、所述供给流路、所述被成膜物支承部、所述排出流路及所述排出口的顺序构成供液体流动的液体流路，其特征在于，所述成膜装置具有：

循环路径，所述循环路径将从所述排出口排出的液体供给到所述供给口；

排放口，所述排放口设置于所述固定部；

除去机构，所述除去机构从排放液除去杂质，该排放液是从所述排放口排出的排放液；以及

路径，所述路径将从所述除去机构送出的所述排放液供给到所述供给口。

2.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，

所述成膜装置具有将从所述排出口排出的所述液体送出到所述供给口的循环路径。

3.根据权利要求2所述的成膜装置，其特征在于，

从所述排出口排出的所述液体经由三通阀，与被供给从所述排放口排出的所述排放液的所述路径合流。

4.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，

从所述除去机构送出的所述排放液与所述循环路径合流。

5.根据权利要求4所述的成膜装置，其特征在于，

在除去所述杂质后的所述排放液与从所述排出口排出的所述液体合流的部位具备限制反方向的流动的止回阀。

6.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，

所述除去机构配置于所述循环路径，

从所述排出口排出的所述液体和从所述排放口排出的所述排放液在所述除去机构中合流，除去所述杂质并供给到所述供给口。

7.根据权利要求6所述的成膜装置，其特征在于，

所述除去机构包含于调节所述液体的温度的温度调节机构。

8.根据权利要求6所述的成膜装置，其特征在于，

所述除去机构设置于与所述成膜室所在的位置不同的位置。

9.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，

所述除去机构具有收容所述排放液的排放液容器，

在所述排放液容器中，基于所述液体与所述杂质的比重差，从所述液体分离所述杂质。

10.根据权利要求9所述的成膜装置，其特征在于，

在所述排放液容器，设置有用于为了再利用而将分离所述杂质后的所述液体送出到所述循环路径的送出口。

11.根据权利要求9所述的成膜装置，其特征在于，

在所述排放液容器，设置有检测收容的所述液体的液面的高度的水平传感器，并且具有为了再利用而将从吸入口吸入的所述液体送出的泵，

所述除去机构在所述液面的高度为比所述吸入口的高度高规定的距离的阈值高度以下的情况下，不进行所述液体的送出。

12.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，

所述液体是用于调节所述被成膜物的温度的液体，

所述杂质是用于所述旋转接头的润滑脂的成分。

13.根据权利要求12所述的成膜装置，其特征在于，

作为所述润滑脂的基油，使用相对于所述液体不溶性的材料。

14.根据权利要求12所述的成膜装置，其特征在于，

所述液体和所述润滑脂的比重不同。