[发明专利]一种复合透镜及其制作方法、红外探测器

权利要求书

1.一种复合透镜，其特征在于，包括：

基底；

位于所述基底第一表面的透镜；

根据所述透镜的面型设置在所述基底第二表面的第一超表面结构阵列，所述第一超表面结构阵列包括多个超表面结构单元；所述超表面结构单元为亚波长结构单元；

其中，所述第一表面与所述第二表面相背。

2.如权利要求1所述的复合透镜，其特征在于，还包括：

键合层，用于连接所述透镜和所述基底的所述第一表面。

3.如权利要求2所述的复合透镜，其特征在于，当所述透镜为双凸球面球透镜时，还包括：

位于所述基底的所述第一表面的第二超表面结构阵列，所述第二超表面结构阵列位于所述双凸球面球透镜与所述第一表面形成的空腔内，其中，所述第二超表面结构阵列包括多个超表面结构单元。

4.如权利要求1所述的复合透镜，其特征在于，所述透镜和所述基底为一体式结构。

5.如权利要求1所述的复合透镜，其特征在于，所述基底的所述第二表面为阶梯状表面，且所述阶梯状表面为左右对称的表面。

6.如权利要求1至5任一项所述的复合透镜，其特征在于，所述超表面结构单元为轴对称的超表面结构单元。

7.一种复合透镜制作方法，其特征在于，包括：

获得包括基底和透镜的透镜组合；所述透镜与所述基底的第一表面相连；

获得所述透镜的面型；

根据所述面型在所述基底的第二表面形成第一超表面结构阵列，所述第一超表面结构阵列包括多个超表面结构单元；所述超表面结构单元为亚波长结构单元；

其中，所述第一表面与所述第二表面相背。

8.如权利要求7所述的复合透镜制作方法，其特征在于，当所述透镜为双凸球面球透镜时，所述获得包括基底和透镜的透镜组合包括：

获得所述基底；

在透镜基板的上表面旋涂第一光刻胶；

利用灰度光刻法、纳米压印法、激光直写法、热回流法中的任一种方法，对所述第一光刻胶进行处理以形成与所述双凸球面球透镜中第一球面相匹配的图案；

对所述上表面进行刻蚀，形成所述双凸球面球透镜的所述第一球面；

在所述透镜基板的下表面旋涂第二光刻胶；

利用灰度光刻法、纳米压印法、激光直写法、热回流法中的任一种方法，对所述第二光刻胶进行处理以形成与所述双凸球面球透镜中第二球面相匹配的图案；

对所述下表面进行刻蚀，形成所述双凸球面球透镜的所述第二球面，得到所述双凸球面球透镜；

相应的，所述根据所述面型在所述基底的第二表面形成第一超表面结构阵列之后，还包括：

在所述基底的所述第一表面形成第二超表面结构阵列，所述第二超表面结构阵列包括多个超表面结构单元；

利用键合方式将所述双凸球面球透镜与所述基底的所述第一表面连接；其中，所述第二超表面结构阵列位于所述双凸球面球透镜与所述第一表面形成的空腔内。

9.如权利要求7所述的复合透镜制作方法，其特征在于，当所述透镜为平凸球面球透镜时，所述获得包括基底和透镜的透镜组合包括：

获得所述基底；

在所述基底的第一表面旋涂第三光刻胶；

利用灰度光刻法、纳米压印法、激光直写法、热回流法中的任一种方法，对所述第三光刻胶进行处理以形成与平凸球面球透镜的球面相匹配的图案；

对所述第一表面进行刻蚀形成所述平凸球面球透镜，得到所述基底和所述透镜的所述透镜组合。

10.如权利要求7所述的复合透镜制作方法，其特征在于，所述获得所述透镜的面型包括：

通过轮廓仪得到所述透镜的面型数据；

拟合所述面型数据得到所述面型。